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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利基板拍攝裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114071076B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111214841.9，技術領域涉及：H04N7/18；該發明授權基板拍攝裝置是由古閑法久;西山直;野田康朗設計研發完成，并于2017-02-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板拍攝裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種基板拍攝裝置。抑制設備事故且謀求基板拍攝裝置的小型化和低成本化。檢查單元U3包括：保持臺，其構成為保持晶圓W而使晶圓W旋轉；鏡構件430，其具有反射面432，該反射面432相對于保持臺的旋轉軸線傾斜，并且與保持到保持臺的晶圓W的端面Wc和背面Wb的周緣區域Wd相對；照相機，其具有拍攝元件，來自被保持到保持臺的晶圓W的表面Wa的周緣區域Wd的光、以及來自被保持到保持臺的晶圓W的端面Wc的光被鏡構件430的反射面432反射而成的反射光都經由鏡頭輸入該拍攝元件。

本發明授權基板拍攝裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板拍攝裝置，其包括：旋轉保持部，其構成為保持基板而使該基板旋轉；鏡構件，其具有反射面，該反射面相對于所述旋轉保持部的旋轉軸線傾斜，并且與被保持到所述旋轉保持部的所述基板的端面及背面的周緣區域相對；第1照相機，其具有拍攝元件，來自被保持到所述旋轉保持部的所述基板的表面的第1光、以及來自被保持到所述旋轉保持部的所述基板的端面的第2光被所述鏡構件的反射面反射而成的反射光都經由鏡頭輸入該拍攝元件；第1光源，其配置于比被保持到所述旋轉保持部的所述基板的表面靠上方的位置；以及第1半透明反射鏡，其配置于所述第1光源與所述基板的表面之間，該第1半透明反射鏡構成為透過來自所述第1光源的光，且反射所述第1光和所述反射光，其中，所述第1照相機與所述第1半透明反射鏡沿著水平方向排列地配置，該基板拍攝裝置還包括焦點調節透鏡，該焦點調節透鏡構成為使所述基板的端面的成像位置對準所述拍攝元件，所述焦點調節透鏡以使所述第1光不通過該焦點調節透鏡且所述反射光通過該焦點調節透鏡的方式配置于所述第2光被所述鏡構件的所述反射面反射而成的反射光的從所述反射面到達所述鏡頭為止的之間的光路的中途。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。