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龍圖騰網(wǎng)恭喜FEI公司申請的專利掃描電子顯微鏡獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113223913B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-03發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110223041.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/18；該發(fā)明授權(quán)掃描電子顯微鏡是由K.D.范德馬斯特;A.F.J.漢曼;W.H.C.瑟烏斯;S.R.M.斯多科斯設(shè)計研發(fā)完成，并于2017-03-03向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本掃描電子顯微鏡在說明書摘要公布了：一種掃描電子顯微鏡（1），其包括處于電子光學(xué)成像系統(tǒng)（2）與樣品載體（10）之間的滑動真空密封裝置（20），該滑動真空密封裝置（20）具有第一板（22），該第一板（22）具有與電子光學(xué)成像系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的第一孔徑（24），并且靠在第二板（26）上，該第二板（26）具有與樣品載體相關(guān)聯(lián)的第二孔徑（28）。第一板和或第二板包括環(huán)繞第一孔徑和或第二孔徑的凹槽（40）。掃描電子顯微鏡可以包括相對于電子束可移動的檢測器（8）。掃描電子顯微鏡可以包括用于沿?zé)o碰撞路徑移動樣品載體的運動控制單元。

本發(fā)明授權(quán)掃描電子顯微鏡在權(quán)利要求書中公布了：1.一種掃描電子顯微鏡，包括：電子光學(xué)成像系統(tǒng)，其包括電子束源和電子檢測器，樣品載體，其處于所述電子束源與所述電子檢測器之間，所述樣品載體相對于電子束是可移動的以用于移動樣品，以及其中所述電子檢測器相對于所述電子束是可移動的，其中所述電子檢測器被布置用于與所述樣品載體同步移動，其中所述電子檢測器固定連接到可移動的樣品載體，磁透鏡，被包括在所述樣品與所述電子檢測器之間，其中所述磁透鏡相對于所述電子束是可移動的，其中所述磁透鏡被布置用于與所述樣品載體同步移動，其中所述磁透鏡固定連接到所述可移動的樣品載體，其中所述樣品載體在用于裝載樣品的裝載位置與用于對所述樣品成像的成像位置之間是可移動的，其中所述掃描電子顯微鏡包括處于所述電子光學(xué)成像系統(tǒng)與所述樣品載體之間的滑動真空密封裝置，其中所述滑動真空密封裝置包括第一板，所述第一板具有與所述電子光學(xué)成像系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的第一孔徑，并且靠在第二板上，所述第二板具有與所述樣品載體相關(guān)聯(lián)的第二孔徑，所述第一板和第二板相對于彼此是可滑動移動的，所述第一孔徑和第二孔徑在所述成像位置中重疊，并且所述第一孔徑和第二孔徑在所述裝載位置中不重疊，其中所述第一板和或第二板包括環(huán)繞所述第一孔徑和或第二孔徑的凹槽，其中所述凹槽被布置用于與真空系統(tǒng)連通。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人FEI公司，其通訊地址為：美國俄勒岡州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。