恭喜朗姆研究公司約翰·E·多爾蒂獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利銷升降器測試襯底獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113169090B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201880099979.9，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權銷升降器測試襯底是由約翰·E·多爾蒂;經常友;蘇希爾·阿南德設計研發完成，并于2018-12-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本銷升降器測試襯底在說明書摘要公布了：各種實施方案包含當襯底處于處理工具上的襯底處理位置時對襯底銷升降器提供原位非侵入性驗證的設備。所公開的主題還可驗證從處理工具移除襯底時的非預期襯底移動。在一示例性的實施方案中，銷升降器測試襯底包含多個運動感測器以及至少一個力傳感器。該多個運動傳感器包含至少一種類型的傳感器，該至少一種類型的傳感器選自包含測斜儀和加速度計的多個傳感器類型。銷升降器測試襯底上的存儲器裝置記錄從運動傳感器所接收的數據。替代存儲器裝置或除了存儲器裝置外，無線通信裝置還將從該多個運動傳感器所接收的數據傳送至遠程接收器。公開了其他設備及系統。
本發明授權銷升降器測試襯底在權利要求書中公布了：1.一種銷升降器測試襯底系統，其包含：安裝在銷升降器測試襯底上的多個運動傳感器，所述多個運動傳感器包含至少一種類型的傳感器，其選自包含測斜儀和加速度計的傳感器類型；一或更多個力傳感器，在所述銷升降器測試襯底放置于襯底支撐裝置上時所述一或更多個力傳感器位于多個襯底銷升降器的對應位置附近，其中所述一或更多個力傳感器被配置成判斷是否存在從銷升降器測試襯底至所述襯底支撐裝置的接觸力；通信裝置，其配置成傳送從所述多個運動傳感器和所述一或更多個力傳感器接收的數據；以及存儲器裝置，其以通信方式耦合至所述通信裝置且被配置成記錄從所述多個運動傳感器和所述一或更多個力傳感器接收的所述數據。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號