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恭喜江蘇多維科技有限公司詹姆斯·G·迪克獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜江蘇多維科技有限公司申請的專利一種基于電隔離磁阻應力敏感元件的氫氣傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110646502B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911048138.8,技術領域涉及:G01N27/72;該發明授權一種基于電隔離磁阻應力敏感元件的氫氣傳感器是由詹姆斯·G·迪克;周志敏設計研發完成,并于2019-10-30向國家知識產權局提交的專利申請。

一種基于電隔離磁阻應力敏感元件的氫氣傳感器在說明書摘要公布了:本發明實施例公開了一種基于電隔離磁阻應力敏感元件的氫氣傳感器,包括:可變形基板;位于可變形基板上的磁阻應力傳感器電橋、覆蓋磁阻應力傳感器電橋的電隔離層以及位于電隔離層上的磁屏蔽層;位于可變形基板上方的氫敏感層,氫敏感層在可變形基板所在平面的正投影覆蓋電隔離層,氫敏感層用于吸附或脫附氫氣以發生膨脹或收縮形變并引起可變形基板的應力變化,磁阻應力傳感器電橋用于根據可變形基板的應力變化進行氫氣濃度測量。本發明實施例,提高了氫氣傳感器的各項性能。

本發明授權一種基于電隔離磁阻應力敏感元件的氫氣傳感器在權利要求書中公布了:1.一種基于電隔離磁阻應力敏感元件的氫氣傳感器,其特征在于,包括:可變形基板;位于所述可變形基板上的磁阻應力傳感器電橋、覆蓋所述磁阻應力傳感器電橋的電隔離層以及位于所述電隔離層上的磁屏蔽層,所述電隔離層用于實現所述磁阻應力傳感器電橋的電源環境與外部環境之間的電絕緣隔離;位于所述可變形基板上方的氫敏感層,所述氫敏感層在所述可變形基板所在平面的正投影覆蓋所述電隔離層,所述氫敏感層用于吸附或脫附氫氣以發生膨脹或收縮形變并引起所述可變形基板的應力變化,所述磁阻應力傳感器電橋用于根據所述可變形基板的應力變化進行氫氣濃度測量;所述可變形基板為懸臂梁;或者,所述可變形基板為膜片組件,所述膜片組件包括框架和封裝在所述框架中的膜片,所述磁阻應力傳感器電橋設置在所述膜片上;所述可變形基板的長度方向為X軸方向,所述可變形基板的寬度方向為Y軸方向,所述磁阻應力傳感器電橋包括多個磁電阻傳感單元,所述磁電阻傳感單元包括平行于X-Y平面的多膜層堆疊結構,該多膜層至少包括依次堆疊的釘扎層、參考層、勢壘層、自由層和偏置層;所述可變形基板具有沿Z軸方向上排布的第一表面和第二表面;所述磁阻應力傳感器電橋為推挽橋式結構,所述磁阻應力傳感器電橋包括推磁電阻傳感單元和挽磁電阻傳感單元;所述推磁電阻傳感單元設置在所述第一表面上,所述挽磁電阻傳感單元設置在所述第二表面上,所述推磁電阻傳感單元和所述挽磁電阻傳感單元承受相同幅度且方向相反的應力;所述推磁電阻傳感單元的自由層起始磁矩偏離Y軸的角度為α;所述推磁電阻傳感單元的自由層磁矩和所述挽磁電阻傳感單元的自由層磁矩同時順時針旋轉或者同時逆時針旋轉相同角度得到對應的釘扎層磁矩,所述挽磁電阻傳感單元的自由層起始磁矩偏離Y軸的角度為90-α或270-α;或者,所述推磁電阻傳感單元的自由層磁矩和所述挽磁電阻傳感單元的自由層磁矩的旋轉方向不同且旋轉角度相同,所述挽磁電阻傳感單元的自由層起始磁矩偏離Y軸的角度為90+α或270+α;α取值0°到360°的范圍內,其中,所述自由層采用具有正磁致伸縮系數的材料且承受拉應力或者采用具有負磁致伸縮系數的材料且承受壓應力時α不為0°或者180°,所述自由層采用具有正磁致伸縮系數的材料且承受壓應力或者采用具有負致伸縮系數的材料且承受拉應力時α不為90°或者270°;或者,所述推磁電阻傳感單元和所述挽磁電阻傳感單元同時設置在所述第一表面上或者同時設置在所述第二表面上,所述推磁電阻傳感單元和所述挽磁電阻傳感單元承受相同幅度且方向相同的應力;所述推磁電阻傳感單元的自由層起始磁矩偏離Y軸的角度為α;所述推磁電阻傳感單元的自由層磁矩和所述挽磁電阻傳感單元的自由層磁矩同時順時針旋轉90°或者同時逆時針旋轉90°得到對應的釘扎層磁矩,所述挽磁電阻傳感單元的自由層起始磁矩偏離Y軸的角度為180-α或360-α;或者,所述推磁電阻傳感單元的自由層磁矩和所述挽磁電阻傳感單元的自由層磁矩的旋轉方向不同且旋轉角度相同,所述挽磁電阻傳感單元的自由層起始磁矩偏離Y軸的角度為α或180+α;α取值0°到360°的范圍內,其中,所述自由層采用具有正磁致伸縮系數的材料且承受拉應力或者采用具有負磁致伸縮系數的材料且承受壓應力時α不為0°或者180°,所述自由層采用具有正磁致伸縮系數的材料且承受壓應力或者采用具有負致伸縮系數的材料且承受拉應力時α不為90°或者270°。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇多維科技有限公司,其通訊地址為:215634 江蘇省蘇州市張家港市保稅區廣東路7號E棟;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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