恭喜麥嶠里(上海)半導體科技有限責任公司施朱斌獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜麥嶠里(上海)半導體科技有限責任公司申請的專利四探針測量儀、四探針測量系統及四探針測量儀測量待測晶圓的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119414212B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510007147.1，技術領域涉及：G01R31/28；該發明授權四探針測量儀、四探針測量系統及四探針測量儀測量待測晶圓的方法是由施朱斌;劉相華設計研發完成，并于2025-01-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本四探針測量儀、四探針測量系統及四探針測量儀測量待測晶圓的方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體檢測技術領域，提供了一種四探針測量儀、四探針測量系統及四探針測量儀測量待測晶圓的方法，其中四探針測量儀包括：四個探針，所述探針具有貫通上下的通道；激光發射器，所述激光發射器發射的激光從上到下穿過所述通道，照射到待測晶圓上；固定板，所述固定板具有與所述探針相對的孔洞，所述探針從所述孔洞中穿過，所述固定板用于固定所述探針，以及阻擋所述探針外部的激光照射到待測晶圓上。本發明用激光照射半導體，使電子躍遷到導帶，同時產生空穴，形成電子?空穴對，從而改善接觸特性，可以使探針和被測硅片表面形成良好的歐姆接觸，提高硅片測量的穩定性。
本發明授權四探針測量儀、四探針測量系統及四探針測量儀測量待測晶圓的方法在權利要求書中公布了：1.一種四探針測量儀，其特征在于，包括：四個探針，所述探針具有貫通上下的通道；激光發射器，所述激光發射器發射的激光從上到下穿過所述通道；進行測量時，使所述探針與晶圓表面之間物理接觸，用激光照射所述探針與晶圓的接觸面，使電子躍遷到導帶，同時產生空穴，形成電子空穴對，從而改善接觸特性；固定板，所述固定板具有與所述探針相對的孔洞，所述探針從所述孔洞中穿過，所述固定板用于固定所述探針，以及阻擋所述探針外部的激光照射到待測晶圓上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人麥嶠里(上海)半導體科技有限責任公司，其通訊地址為：201210 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區祖沖之路2305號B幢12層(產證樓層為11層)1203工位；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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