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恭喜ASML荷蘭有限公司S·B·魯博爾獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利反射器制造方法及相關的反射器獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN113474880B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-30發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202080016678.2,技術領域涉及:H01L23/00;該發(fā)明授權(quán)反射器制造方法及相關的反射器是由S·B·魯博爾;S·T·范德波斯特設計研發(fā)完成,并于2020-01-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

反射器制造方法及相關的反射器在說明書摘要公布了:公開了一種制造反射器的方法。該方法包括至少拋光多個基本平坦的襯底中的最上面的基本平坦的襯底的最上表面,將每個基本平坦的襯底變形為期望的形狀,并且將變形的襯底接合在一起以形成所述反射器。在實施例中,使用模具來一起執(zhí)行變形和接合。

本發(fā)明授權(quán)反射器制造方法及相關的反射器在權(quán)利要求書中公布了:1.一種制造用于量測裝置的反射器的方法,所述方法包括:至少拋光多個平坦的襯底中的最上面的平坦的襯底的最上表面;將每個平坦的襯底變形為期望的形狀,并且將變形的所述襯底接合在一起,以形成所述反射器;其中使用模具來一起執(zhí)行變形步驟與接合步驟;其中所述最上面的襯底的所述最上表面被拋光到比其它接合表面更高的標準。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人ASML荷蘭有限公司,其通訊地址為:荷蘭維德霍溫;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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