恭喜兆易創新科技集團股份有限公司韓飛獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜兆易創新科技集團股份有限公司申請的專利一種裸片和一種晶硅圓片獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110911295B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201811086151.8,技術領域涉及:H01L21/66;該發明授權一種裸片和一種晶硅圓片是由韓飛;張賽;蘇如偉設計研發完成,并于2018-09-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種裸片和一種晶硅圓片在說明書摘要公布了:本發明實施例公開了一種裸片和一種晶硅圓片。所述裸片包括:設置于裸片的頂層金屬上且分別與裸片的不同的功能測試孔相連的至少兩個冗余測試孔;其中,任意兩個冗余測試孔的間距大于與其相連的兩個功能測試孔的間距,冗余測試孔用于替代與其連接的功能測試孔與裸片所對應的測試針卡相連。本發明實施例的技術方案解決了現有技術中由于裸片中的功能測試孔間距較小,導致測試針卡制作難度大和制作成本高的技術缺陷,通過在裸片上增設孔距較大的冗余測試孔,使得測試針卡中的測試針的間距得以加大,由此降低了測試針卡的制作難度,進而降低了測試針卡的制作成本。
本發明授權一種裸片和一種晶硅圓片在權利要求書中公布了:1.一種裸片,其特征在于,包括:設置于所述裸片的頂層金屬上且分別與所述裸片的不同的功能測試孔相連的至少兩個冗余測試孔;其中,任意兩個所述冗余測試孔的間距大于與其相連的兩個所述功能測試孔的間距,所述冗余測試孔用于替代與其連接的所述功能測試孔與所述裸片所對應的測試針卡相連;所述測試針卡用于對所述裸片進行功能測試;所述冗余測試孔的面積大于等于與其相連的所述功能測試孔的面積;至少一個所述冗余測試孔在所述頂層金屬以外的至少一個其他層金屬中設置連接點;所述冗余測試孔以及與其相連的所述功能測試孔通過所述頂層金屬和所述頂層金屬以外的其他層金屬相連。
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