恭喜拓荊科技股份有限公司鄭旭東獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜拓荊科技股份有限公司申請的專利一種支撐組件、半導體加工腔室及支撐組件線下檢測調試方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113764302B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010501266.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種支撐組件、半導體加工腔室及支撐組件線下檢測調試方法是由鄭旭東設計研發完成，并于2020-06-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種支撐組件、半導體加工腔室及支撐組件線下檢測調試方法在說明書摘要公布了：本發明是屬于一種集成電路生產設備技術領域，具體提供了一種支撐組件、半導體加工腔室及支撐組件線下檢測調試方法，適用于各種半導體設備裝配、調試、檢查、測試，將支撐組件的各個需要調試的部件進行高度水平調試后，直接可以對準安裝在半導體設備上，無需再調試。本方案提供一種線下操作的可能性，從而讓操作人員可以方便快捷的完成支撐組件的裝配、檢查、測試，提高生產效率，提高生產質量，降低勞動強度。
本發明授權一種支撐組件、半導體加工腔室及支撐組件線下檢測調試方法在權利要求書中公布了：1.一種支撐組件，安裝在半導體設備的加工腔室內，其特征在于：所述的支撐組件上設有支撐架，支撐架上設有一安裝板，還設有兩組支撐結構，所述的支撐結構包括一中間安裝柱，以及環繞該安裝柱成均勻分布的三個浮動環支桿；在三個浮動環支桿形成的圓的內側靠近中間安裝柱還設有一支板支桿，該支桿上端固定有一呈V形的銷支板，所有的支桿高度可調；還包括兩個電機，分別與安裝柱連接，用于控制加熱盤的高度；三個所述浮動環支桿設置在浮動環支桿支架上，所述浮動環支桿支架設置在所述支撐架上配合滑塊及墊塊可以實現在所述支撐架上上下左右滑動，進而帶動所述浮動環支桿移動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技股份有限公司，其通訊地址為：110179 遼寧省沈陽市渾南區水家900號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號