恭喜長鑫存儲技術有限公司秦盼盼獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜長鑫存儲技術有限公司申請的專利晶圓生產過程的偵測方法、裝置、介質和電子設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114121711B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010884629.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權晶圓生產過程的偵測方法、裝置、介質和電子設備是由秦盼盼;石文穎設計研發完成，并于2020-08-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓生產過程的偵測方法、裝置、介質和電子設備在說明書摘要公布了：本發明實施例提供了一種晶圓生產過程的偵測方法、裝置、介質和電子設備，所述偵測方法包括：獲取所述晶圓在第一生產模塊進行生產的第一結束時間；獲取所述晶圓在第二生產模塊進行生產的第一開始時間，其中，所述第一生產模塊與所述第二生產模塊為同一機臺中的生產模塊；根據所述第一結束時間、所述第一開始時間對所述晶圓在生產模塊之間的實際等待時間進行偵測。本發明的技術方案可以提高晶圓的生產質量。
本發明授權晶圓生產過程的偵測方法、裝置、介質和電子設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓生產過程的偵測方法，其特征在于，所述偵測方法包括：獲取所述晶圓在第一生產模塊進行生產的第一結束時間；獲取所述晶圓在第二生產模塊進行生產的第一開始時間，其中，所述第一生產模塊與所述第二生產模塊為同一機臺中的生產模塊；根據所述第一結束時間、所述第一開始時間對所述晶圓在生產模塊之間的實際等待時間進行偵測；所述偵測方法還包括：獲取系統中設定的所述晶圓在自第一生產模塊生產結束至第二生產模塊生產開始之間的設定等待時間；根據所述設定等待時間、所述第一結束時間、所述第一開始時間對所述晶圓的生產過程進行監控；所述對所述晶圓的生產過程進行監控，包括：獲取所述第一結束時間與所述第一開始時間的時間差；根據所述時間差和所述設定等待時間判斷所述生產過程是否超時；所述根據所述時間差和所述設定等待時間判斷所述生產過程是否超時，包括：根據單變量分析曲線判斷所述生產過程是否超時。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長鑫存儲技術有限公司，其通訊地址為：230601 安徽省合肥市經濟技術開發區空港工業園興業大道388號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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