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龍圖騰網恭喜株式會社迪思科申請的專利檢測裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112975112B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011425695.X，技術領域涉及：B23K26/00；該發明授權檢測裝置是由能丸圭司設計研發完成，并于2020-12-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本檢測裝置在說明書摘要公布了：本發明提供檢測裝置，即使在無法通過紅外線照相機從晶片的背面檢測形成于正面的分割預定線的情況下，也能夠從晶片的背面檢測形成于正面的分割預定線。對被加工物的內部進行檢測的檢測機構包含：波長區分延遲單元，其使從激光振蕩器射出的每一個脈沖的脈沖激光光線按照每個波長而具有時間差；以及環生成單元，其將按照每個波長而具有時間差的脈沖激光光線生成為環狀，并且按照每個波長從小環形光分光為大環形光。當向被加工物照射按照每個波長而具有時間差的環狀的脈沖激光光線時，在被加工物內部產生超聲波的干涉波，在超聲波所會聚的位置產生振動。從激光光線照射器向與該振動的中心對應的被加工物的上表面照射激光光線。

本發明授權檢測裝置在權利要求書中公布了：1.一種檢測裝置，其包含卡盤工作臺和檢測機構，該卡盤工作臺具有由X軸坐標和Y軸坐標規定的保持面，該保持面對被加工物進行保持，該檢測機構對該卡盤工作臺所保持的被加工物的內部進行檢測，其中，該檢測機構具有：激光振蕩器，其振蕩出寬頻帶波長的脈沖激光；波長區分延遲單元，其使從該激光振蕩器射出的每一個脈沖的脈沖激光光線按照每個波長而具有時間差；環生成單元，其將按照每個波長而具有時間差的脈沖激光光線生成為環狀，并且將脈沖激光光線按照每個波長從小環形光分光為大環形光；分束器，其對從小環形光分光為大環形光的脈沖激光光線進行分支；掠描掃描器，其按照X軸坐標對由該分束器向第一方向分支的脈沖激光光線進行掃描；分度掃描器，其將該脈沖激光光線按照Y軸坐標進行分度；fθ透鏡，其將從小環形光分光為大環形光的脈沖激光光線照射到該卡盤工作臺所保持的被加工物的由X軸坐標和Y軸坐標確定的上表面；激光光線照射器，其配設在由該分束器分支的第二方向上，照射檢測用激光光線；半反射鏡，其配設在該激光光線照射器與該分束器之間；回光鏡，其以與該半反射鏡夾著該分束器的方式配設，使通過了該半反射鏡的檢測用激光光線返回該半反射鏡；光探測器，其接受被該半反射鏡反射的光；以及圖像生成單元，其根據該光探測器所接受的光的強度和被照射了該脈沖激光光線的被測量部的上表面的X軸坐標和Y軸坐標而生成圖像，通過向該卡盤工作臺所保持的被加工物的上表面照射從該小環形光以具有時間差的方式分光為該大環形光的脈沖激光光線而生成的超聲波的干涉波在被加工物的內部的規定的Z軸坐標處會聚而產生振動，通過該半反射鏡將向與產生了該振動的位置對應的被加工物的上表面照射該檢測用激光光線而發生了反射的捕捉到該振動的調制的第一返回光和由通過該回光鏡而返回的該檢測用激光光線生成的第二返回光的干涉光引導至該光探測器，通過該圖像生成單元來生成表示該超聲波的干涉波所會聚的點附近的狀態的圖像。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社迪思科，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。