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龍圖騰網恭喜西安知微傳感技術有限公司申請的專利多折扭轉梁及包括該多折扭轉梁的非線性減弱的MEMS扭轉鏡獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115469447B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110646788.3，技術領域涉及：G02B26/08；該發明授權多折扭轉梁及包括該多折扭轉梁的非線性減弱的MEMS扭轉鏡是由宋秀敏;宋旭東設計研發完成，并于2021-06-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本多折扭轉梁及包括該多折扭轉梁的非線性減弱的MEMS扭轉鏡在說明書摘要公布了：本發明屬于微光機電領域，具體涉及MEMS扭轉鏡，特別是一種多折扭轉梁及包括該多折扭轉梁的非線性減弱的MEMS扭轉鏡。解決由非線性引起的頻率范圍和轉角限制以及角度控制難度大等問題。多折扭轉梁包括三組扭轉梁、六組橫梁及兩組過渡梁，通過布置多組橫梁使各段扭轉梁的扭轉中心與各自幾何中心重合，減弱因多折扭轉梁各位置扭轉變形差異大而帶來的MEMS扭轉鏡的運動非線性。結合可以提供線性扭矩的驅動器，實現非線性減弱的MEMS扭轉鏡。其在采用多折扭轉梁時，不表現出明顯的非線性特征，即諧振運動不出現非穩定域和雙向掃頻相差大的現象，靜態轉動不出現驅動力和轉角之間的非線性關系，提升MEMS扭轉鏡的性能。

本發明授權多折扭轉梁及包括該多折扭轉梁的非線性減弱的MEMS扭轉鏡在權利要求書中公布了：1.一種非線性減弱的MEMS扭轉鏡，包括驅動結構、可動結構與及固定框架，所述可動結構包括反射鏡與多折扭轉梁；其特征在于：兩個多折扭轉梁對稱布置在反射鏡兩側；所述多折扭轉梁包括三組扭轉梁、六組橫梁及兩組過渡梁；所述三組扭轉梁相互平行，沿y方向延伸，沿x方向排布，分別為第一扭轉梁、第二扭轉梁與第三扭轉梁，第一扭轉梁與第三扭轉梁排布在第二扭轉梁兩側，且關于第二扭轉梁對稱；六組橫梁均沿x方向延伸，分別為第一橫梁、第二橫梁、第三橫梁、第四橫梁、第五橫梁及第六橫梁；第一橫梁與第四橫梁排布在第二扭轉梁兩側，且關于第二扭轉梁對稱；第二橫梁與第五橫梁排布在第二扭轉梁兩側，且關于第二扭轉梁對稱；第三橫梁與第六橫梁排布在第二扭轉梁兩側，且關于第二扭轉梁對稱；兩組過渡梁分別為第一過渡梁與第二過渡梁，沿y方向延伸，排布在第二扭轉梁兩側，且關于第二扭轉梁對稱；第一橫梁、第一扭轉梁、第二橫梁、第一過渡梁及第三橫梁依次首尾相接；第四橫梁、第三扭轉梁、第五橫梁、第二過渡梁及第六橫梁依次首尾相接；第三橫梁與第六橫梁連接后與第二扭轉梁一端連接，第二扭轉梁的另一端用于與MEMS扭轉鏡連接；第一橫梁與第四橫梁的自由端遠離第二扭轉梁，用于與MEMS扭轉鏡的固定框架連接；各個梁連接部位設置圓弧倒角；第二橫梁和第五橫梁為細長梁，確保在扭轉過程中發生一定的變形，變形可將第一扭轉梁和第三扭轉梁的扭轉變形中心由第二扭轉梁的幾何中心調整到各自的幾何中心；兩個多折扭轉梁中第一橫梁與第四橫梁的自由端均與固定框架連接，驅動結構用于驅動兩個多折扭轉梁帶動反射鏡線性運動;W2.6＞W2.21＞W2.62≈W2.51＞W2.11≈W2.31；L2.11≈L2.41＜L2.312.5；其中，W2.6為第二扭轉梁的寬度，W2.21為第一扭轉梁的寬度，W2.51為第三橫梁的寬度，W2.11為第一橫梁的寬度，W2.31為第二橫梁的寬度，L2.11為第一橫梁的長度，L2.41為第一過渡梁的長度，L2.31為第二橫梁的長度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西安知微傳感技術有限公司，其通訊地址為：710077 陜西省西安市高新區丈八街辦錦業一路52號寶德云谷國際A座301室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。