恭喜博力思(天津)電子科技有限公司王晗笑獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜博力思(天津)電子科技有限公司申請的專利一種電子拋光用高純度球形硅溶膠的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119706854B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510228504.7,技術領域涉及:C01B33/145;該發明授權一種電子拋光用高純度球形硅溶膠的制備方法是由王晗笑;劉林;謝順帆;曹靖麗;劉圓設計研發完成,并于2025-02-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種電子拋光用高純度球形硅溶膠的制備方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種電子拋光用高純度球形硅溶膠的制備方法,涉及無機化合物材料領域,包括:將四甲氧基硅氧烷和分散液從第一級碳化硅微通道反應器的兩個進料口同時打入,進行水解聚合反應,得到A溶液;將A溶液和酸性水解液從第二級碳化硅微通道反應器的兩個進料口同時打入,進行顆粒均勻化反應,得到B溶液;將B溶液和穩定劑從第三級碳化硅微通道反應器的兩個進料口同時打入,進行顆粒穩定性反應,得到高純度球形硅溶膠;對高純度球形硅溶膠進行溶劑置換,進行溶劑置換后通過膜過濾器進行濃縮,濃縮至二氧化硅含量大于20%,得到總金屬離子含量小于1ppm的超高純球形硅溶膠。本發明制備的高純度球形硅溶膠顆粒大小均勻,有助于提升拋光效果。
本發明授權一種電子拋光用高純度球形硅溶膠的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種電子拋光用高純度球形硅溶膠的制備方法,其特征在于,包括:將四甲氧基硅氧烷和分散液從第一級碳化硅微通道反應器的兩個進料口同時打入,四甲氧基硅氧烷的打入速度為1.5~2.1mlmin,分散液的打入速度為3.0~16.8mlmin,所述分散液包括復合醇、超純水和弱堿;在5~15℃溫度條件下進行水解聚合反應,把反應過程中的溫度波動控制在1.2℃以內,從第一級碳化硅微通道反應器的出口得到A溶液;所述第一級碳化硅微通道反應器的出口連接第二級碳化硅微通道反應器,將所述A溶液和酸性水解液從第二級碳化硅微通道反應器的兩個進料口同時打入,酸性水解液打入速度為9.0~95.0mlmin;所述酸性水解液包括四甲氧基硅氧烷、超純水和酸,pH值為2~4;在溫度50~85℃進行顆粒均勻化反應,從第二級碳化硅微通道反應器出口得到B溶液;所述第二級碳化硅微通道反應器的出口連接第三級碳化硅微通道反應器,將所述B溶液和穩定劑從第三級碳化硅微通道反應器的兩個進料口同時打入,穩定劑打入速度為0.01~9.1mlmin;所述穩定劑包括超純水、有機堿和降粘劑;在20~30℃溫度條件下進行顆粒穩定性反應,從第三級碳化硅微通道反應器出口處得到高純度球形硅溶膠,其中,B溶液和穩定劑的質量比為100:1~8;穩定劑中超純水、有機堿和降粘劑的質量比為100:2~6:0.05~0.1,所述降粘劑包括聚乙二醇和或壬基酚。
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