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龍圖騰網恭喜艾龐半導體科技(四川)有限公司申請的專利一種半導體器件加工用定位固定裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119764237B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510245556.5，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權一種半導體器件加工用定位固定裝置是由周磊;丁媛;侯斌;周富設計研發完成，并于2025-03-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體器件加工用定位固定裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體器件技術領域，具體為一種半導體器件加工用定位固定裝置，包括作業箱、轉動筒和固定機構。本發明中先通過三個定位弧板對晶圓進行小面積的接觸定位、之后再通過所有固定弧板對晶圓進行大面積的夾持固定，先通過局部接觸實現對晶圓的精確對中和定位，能夠更精細的調整晶圓位置，并減少了因過度夾持而導致的晶圓損傷或變形風險，之后的大面積接觸夾持有助于將夾持力均分至晶圓周向邊緣，其次，經過局部接觸定位后，減少在夾持固定過程中因晶圓初始位置偏離導致的局部應力過大的問題，最后通過吸附單元進行吸附固定，綜上，提高了對晶圓位置調節的精確程度以及晶圓加工過程中的穩定性。

本發明授權一種半導體器件加工用定位固定裝置在權利要求書中公布了：1.一種半導體器件加工用定位固定裝置，其特征在于，包括：作業箱，所述作業箱的上端呈開口設置，作業箱的上端設置用于封堵作業箱開口的封門，作業箱內腔底壁上轉動貫穿有軸線豎直的轉動筒，轉動筒上固定套設有位于作業箱內的圓形板，轉動筒和圓形板上共同設置有固定機構；所述固定機構包括定位弧板，所述圓形板上方設置有三組周向均勻分布的定位組件，定位組件包括定位弧板和兩個位于定位弧板兩側的固定弧板，定位弧板和固定弧板的內弧面均朝向轉動筒軸線，圓形板和轉動筒上共同設置有驅動單元，驅動單元工作使得三個定位弧板相互靠近并對晶圓進行定心作業，所有固定弧板再夾持晶圓并形成整周圓環，形成第一級固定，同一定位組件內的兩個固定弧板下端面共同固定設置有承托板；所述固定機構還包括用于吸附固定晶圓的吸附單元，所述吸附單元包括吸附臺，所述轉動筒的上端面固定設置有內部為空腔的吸附臺，吸附臺與轉動筒內腔連通，作業箱內腔底壁固定設置有氣泵，氣泵工作使得吸附臺吸附經過定心后的晶圓，形成第二級固定；所述圓形板上固定設置有與定位組件一一對應的T形架；所述驅動單元包括L形架，所述T形架上滑動設置有L形架，且L形架的水平段貫穿對應T形架且與對應滑動架的滑動方向相同，定位弧板固定設置于L形架朝向轉動筒的端面上，轉動筒上套設有上下滑動且位于圓形板和作業箱底部之間的三角板，三角板與三個L形架的豎直段之間均共同鉸接設置有鉸接條，三角板的下端面轉動設置有固定圓板，轉動筒貫穿固定圓板，固定圓板與作業箱底部之間共同設置有電動推桿。

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