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龍圖騰網恭喜北京華鎂鈦科技有限公司申請的專利一種精確對位襯底玻璃通孔的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111415859B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010234509.8，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權一種精確對位襯底玻璃通孔的制造方法是由修威;徐琦;田海燕;楊光設計研發完成，并于2020-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種精確對位襯底玻璃通孔的制造方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種精確對位襯底玻璃通孔的制造方法，解決了大尺寸面板精確對位襯底玻璃通孔制造的效率及成本問題。具體包括：首先，根據產品規格要求，設計襯底玻璃通孔與相應膜層的對位標記，并明確通孔與其他膜層構體的位置關系，形成設計圖紙；其次采用基于激光燒蝕或者光刻技術的微納工藝對襯底玻璃進行加工制造，形成符合所設計的襯底玻璃通孔；最后，將已實現通孔的面板襯底玻璃投入下一個功能層薄膜如第一金屬電極層循環工藝，得到精確對位的功能層與通孔的套刻結構。本發明大幅提高了玻璃通孔對位精度，降低了工藝實現難度，提高了產品良率，同時制造效率也得以提升。此外，還降低了物料成本及產能消耗浪費。

本發明授權一種精確對位襯底玻璃通孔的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種精確對位襯底玻璃通孔的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：根據產品規格要求，設計襯底玻璃通孔與相應功能層的對位標記，并確定通孔與其他功能層的位置關系，形成設計圖紙；采用微納工藝對襯底玻璃進行加工制造，形成符合設計的襯底玻璃通孔；將已實現通孔的襯底玻璃投入下一個功能層薄膜循環工藝，在襯底玻璃上沉積制備第一功能層薄膜，在第一功能層薄膜上制備光刻膠，采用光學圖像采集系統抓取第一層功能層薄膜對應的圖形掩膜版上的對位標記和襯底玻璃通孔的對位標記，調整襯底玻璃位置將兩者自動進行重疊對齊對位，進一步利用光刻技術將掩膜圖案轉移到光刻膠上并顯影，在光刻膠上形成第一功能層薄膜的圖案，將具有第一功能層薄膜及其光刻膠圖案的襯底玻璃進行濕法刻蝕，去除光刻膠后，得到精確對位的功能層通孔與玻璃通孔的套刻結構；后續其他功能層薄膜進入循環工藝，并與上一功能薄膜層精確對位套刻，最終形成每一個功能薄膜層并與襯底玻璃通孔保持精確對位關系。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京華鎂鈦科技有限公司，其通訊地址為：100094 北京市海淀區唐家嶺路弘祥1989科技文化產業園；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。