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龍圖騰網(wǎng)恭喜特銓股份有限公司申請的專利用于無線靜電吸盤的粘脫設(shè)備、自動粘脫系統(tǒng)及粘脫方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113628995B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010885938.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)用于無線靜電吸盤的粘脫設(shè)備、自動粘脫系統(tǒng)及粘脫方法是由陳明生設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-08-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于無線靜電吸盤的粘脫設(shè)備、自動粘脫系統(tǒng)及粘脫方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種用于無線靜電吸盤的粘脫設(shè)備、自動粘脫系統(tǒng)及粘脫方法，用于使一無線靜電載盤與一薄化基板的自動粘合與粘合后的自動解離，該系統(tǒng)包含有一機體、至少一個傳輸裝置、至少一個烘烤裝置、至少一個預對位裝置及至少一個粘脫設(shè)備所組成，其中粘脫設(shè)備包含有一供吸附一無線靜電載盤的載板靜電生成組，以及一供吸附一薄化基板的基板移載組，而該基板移載組可相對該載板靜電生成組線性位移，使得該基板移載組可帶動薄化基板壓合于該載板靜電生成組的無線靜電載盤表面，由此，可驅(qū)動該載板靜電生成組使無線靜電載盤生成靜電電力場，以粘合該薄化基板，而能提升粘合效率，并可供應(yīng)付高精度的制程需求，以滿足薄化基板的自動化制作的需求。

本發(fā)明授權(quán)用于無線靜電吸盤的粘脫設(shè)備、自動粘脫系統(tǒng)及粘脫方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于無線靜電吸盤的粘脫設(shè)備，用于一無線靜電載盤與一薄化基板的粘合或解離，其該無線靜電載盤底面具有導電生成或解離靜電電力場的導極，其特征在于，該粘脫設(shè)備包含有；一框架；一載板靜電生成組，其設(shè)于該框架上，該載板靜電生成組具有一供無線靜電載盤選擇性固定的工作平面，且該工作平面上具有對應(yīng)接觸無線靜電載盤正負導極的導極，又該工作平面能將該無線靜電載盤或該薄化基板定位于一正確位置；一基板移載組，其設(shè)于該框架上且與該載板靜電生成組相對，使得該基板移載組能吸附一具有正確位置的薄化基板，且相對該載板靜電生成組位移；由此，該基板移載組能帶動薄化基板與無線靜電載盤壓合后，能驅(qū)動該載板靜電生成組使無線靜電載盤生成靜電電力場，以粘合該薄化基板；其中，該工作平面上具有一導柱組，該導柱組包含圍繞于無線靜電載盤外周緣的至少二個限制載盤橫向位置的固定導柱及至少一個能推動無線靜電載盤與固定導柱嚙合的活動導柱，使得該無線靜電載盤或該薄化基板定位于工作平面的一正確位置。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人特銓股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新北市；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。