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恭喜中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司鄭二虎獲國家專利權

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龍圖騰網(wǎng)恭喜中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司申請的專利半導體結構及其形成方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN114188319B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202010968020.3,技術領域涉及:H10D84/83;該發(fā)明授權半導體結構及其形成方法是由鄭二虎設計研發(fā)完成,并于2020-09-15向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

半導體結構及其形成方法在說明書摘要公布了:一種半導體結構及其形成方法,其中,方法包括:提供基底;在所述基底上形成若干柵極結構、以及覆蓋柵極結構側壁面的第一介質(zhì)層;在所述第一介質(zhì)層內(nèi)形成若干隔斷結構,每個所述隔斷結構位于柵極結構的一側或兩側。從而,降低了形成半導體結構的工藝的難度。

本發(fā)明授權半導體結構及其形成方法在權利要求書中公布了:1.一種半導體結構,其特征在于,包括:基底;位于所述基底上的若干柵極結構;位于所述基底上的第一介質(zhì)層,所述第一介質(zhì)層還位于所述柵極結構的側壁面;位于所述第一介質(zhì)層內(nèi)的若干隔斷結構,每個所述隔斷結構位于柵極結構的一側或兩側;位于所述第一介質(zhì)層內(nèi)的互連開口,至少一個所述互連開口暴露出所述基底表面以及隔斷結構的側壁面;所述隔斷結構用于形成間隔的互連開口;位于所述互連開口內(nèi)的互連結構,所述互連結構暴露出所述第一介質(zhì)層表面以及所述隔斷結構表面。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司,其通訊地址為:201203 上海市浦東新區(qū)張江路18號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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