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龍圖騰網恭喜上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利一種光刻裝置及其應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114721225B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110002833.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種光刻裝置及其應用是由田翠俠設計研發完成，并于2021-01-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種光刻裝置及其應用在說明書摘要公布了：本發明實施例公開了一種光刻裝置及其應用。光刻裝置包括LED光源，LED光源包括多個LED芯片和透鏡，每個LED芯片與對應的透鏡共光軸；第一類LED芯片的中心位于以中央LED芯片的中心為圓心的第一圓周上，第二類LED芯片的中心位于以中央LED芯片的中心為圓心的第二圓周上，且第一圓周的半徑小于第二圓周的半徑。本發明實施例的技術方案，可以實現在9.4mm×9.4mm的受光面內，平均能量達到14Wcm2以上，且數值孔徑NA0.22，具有高照度、長壽命、節能環保等優點，可以有效提高邊緣曝光精度和產率。

本發明授權一種光刻裝置及其應用在權利要求書中公布了：1.一種光刻裝置，其特征在于，包括LED光源，所述LED光源包括多個LED芯片和與所述LED芯片一一對應的透鏡，每個所述LED芯片與對應的所述透鏡共光軸；多個所述LED芯片包括中央LED芯片、第一類LED芯片和第二類LED芯片，所述第一類LED芯片的中心位于以所述中央LED芯片的中心為圓心的第一圓周上，所述第二類LED芯片的中心位于以所述中央LED芯片的中心為圓心的第二圓周上，且所述第一圓周的半徑小于所述第二圓周的半徑；所述第一類LED芯片的出光平面和所述第二類LED芯片的出光平面均與所述中央LED芯片的出光平面呈第一夾角，且所述第一類LED芯片和所述第二類LED芯片以所述中央LED芯片為中心向靠近所述透鏡一側傾斜；所述第一類LED芯片和所述第二類LED芯片交替錯位排列，使得所述中央LED芯片的兩側分別為所述第一類LED芯片和所述第二類LED芯片。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區自由貿易試驗區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。