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龍圖騰網(wǎng)恭喜芝浦機(jī)械株式會(huì)社申請(qǐng)的專利表面處理裝置及表面處理方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116324012B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180057590.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/34；該發(fā)明授權(quán)表面處理裝置及表面處理方法是由小久保光典;福山聰;栗原義明;難波武志設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-07-12向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本表面處理裝置及表面處理方法在說明書摘要公布了：表面處理裝置10其被處理件輸送部40配送機(jī)構(gòu)將載置有被處理件W的工作臺(tái)31、32載置機(jī)構(gòu)收容到腔室20收容單元中。接著，工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸31b、32b旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和安裝部件旋轉(zhuǎn)軸31c、32c旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在將被處理件載置部30收容在腔室中的狀態(tài)下使被處理件W以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)樣式旋轉(zhuǎn)到與等離子生成裝置21表面處理機(jī)構(gòu)或?yàn)R鍍裝置22、23表面處理機(jī)構(gòu)對(duì)置的朝向。

本發(fā)明授權(quán)表面處理裝置及表面處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種表面處理裝置，其特征在于，具備：載置機(jī)構(gòu)，載置多個(gè)安裝部件，該安裝部件將被處理件的表面朝向外側(cè)安裝于直立的自身的外周面；收容單元，收容載置有上述被處理件的上述載置機(jī)構(gòu)；輸送機(jī)構(gòu)，將在上述載置機(jī)構(gòu)載置的上述被處理件輸送到被上述收容單元收容的位置；表面處理機(jī)構(gòu)，立設(shè)于上述收容單元的內(nèi)側(cè)，進(jìn)行對(duì)被收容在上述收容單元中的上述被處理件的表面狀態(tài)進(jìn)行改質(zhì)的至少1種表面處理；以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，具備：第1旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使被收容在上述收容單元中的上述載置機(jī)構(gòu)以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)樣式旋轉(zhuǎn)到上述被處理件與上述表面處理機(jī)構(gòu)對(duì)置的朝向；以及第2旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使上述安裝部件以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)樣式旋轉(zhuǎn)到與上述表面處理機(jī)構(gòu)對(duì)置的朝向。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人芝浦機(jī)械株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。