買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜上海廣川科技有限公司申請的專利一種多兼容性的晶圓載具上料站、上料裝置及檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113990784B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111246252.9，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種多兼容性的晶圓載具上料站、上料裝置及檢測方法是由劉恩龍;張菊;董懷寶;張加峰;張賢龍;曹潔;中島隆志;川辺哲也;楊琦;武一鳴;馬剛;董陽;李瑩瑩;樂佳浩設計研發完成，并于2021-10-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種多兼容性的晶圓載具上料站、上料裝置及檢測方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種多兼容性的晶圓載具上料站，能夠兼容M種尺寸的晶圓載具；M為大于2的整數；包括載具安裝板，以及位于載具安裝板上的載具前擋板、2M?1個發射端傳感器、2M?1個接收端傳感器和M個后基準塊；所述載具前擋板位于所述載具安裝板的正前方，所述發射端傳感器包括1個基準發射端傳感器和2M?2個側邊發射端傳感器，所述基準發射端傳感器位于載具安裝板的前端中央，所述側邊發射端傳感器對稱分布在所述基準發射端傳感器的兩側。本發明提供的一種多兼容性的晶圓載具上料站、上料裝置及檢測方法，主要用于解決多規格晶圓需求，以及實現多規格晶圓校準標識既有Notch又有Flat情況下的晶圓突出檢測要求的技術問題。

本發明授權一種多兼容性的晶圓載具上料站、上料裝置及檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種多兼容性的晶圓載具上料站，能夠兼容M種尺寸的晶圓載具；M為大于2的整數；其特征在于，包括載具安裝板，以及位于載具安裝板上的載具前擋板、2M-1個發射端傳感器、2M-1個接收端傳感器和M個后基準塊；所述載具前擋板位于所述載具安裝板的正前方，用于固定晶圓載具的前方位置，所述載具前擋板包含M個卡槽；所述載具安裝板上方設有突出檢測板，所述載具安裝板及突出檢測板上分別對應布設有傳感器調整塊，所述發射端傳感器及接收端傳感器，分別成對固定在載具安裝板及突出檢測板的傳感器調整塊上，且所述接收端與發射端傳感器在連線方向上一一對應，允許上下同軸多向移動調節檢測的距離閾值；所述發射端傳感器包括基準發射端傳感器和側邊發射端傳感器，所述基準發射端傳感器位于載具安裝板前端中央的傳感器調整塊上，所述側邊發射端傳感器對稱分布在所述基準發射端傳感器兩側的傳感器調整塊上；所述M個后基準塊位于所述載具安裝板的正后方，分別用于固定對應晶圓載具的后方位置，且M個后基準塊距離載具前擋板的距離均不相同。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海廣川科技有限公司，其通訊地址為：200444 上海市寶山區山連路799號1幢1層-3層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。