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恭喜合肥晶合集成電路股份有限公司崔立加獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜合肥晶合集成電路股份有限公司申請的專利圖像傳感器及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119730426B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510169935.0,技術領域涉及:H10F39/12;該發明授權圖像傳感器及其制造方法是由崔立加;王冉;王夢晴;徐華超設計研發完成,并于2025-02-17向國家知識產權局提交的專利申請。

圖像傳感器及其制造方法在說明書摘要公布了:本申請涉及一種圖像傳感器及其制造方法,包括:提供襯底,所述襯底上形成有保護層,所述保護層內形成有多個相互隔離的溝槽,所述溝槽沿垂直所述襯底的表面的方向延伸至所述襯底中;于所述保護層上形成犧牲層,所述犧牲層填充所述溝槽遠離所述襯底一側的端部,且所述犧牲層的表面形成有多個凹陷,所述凹陷朝向所述襯底的表面的投影落入所述溝槽朝向所述襯底的表面的投影中;刻蝕所述犧牲層,以使所述凹陷與所述溝槽相互連通;于所述溝槽內填充金屬材料,以形成金屬格柵。本申請減少或避免了因套刻誤差導致金屬格柵偏移的問題,簡化了工藝流程,增大了圖像傳感器的收光面積,降低了圖像傳感器的缺陷率。

本發明授權圖像傳感器及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種圖像傳感器的制造方法,其特征在于,包括:提供襯底,所述襯底上形成有保護層,所述保護層內形成有多個相互隔離的溝槽,所述溝槽沿垂直所述襯底的表面的方向延伸至所述襯底中;于所述保護層上形成犧牲層,所述犧牲層填充所述溝槽遠離所述襯底一側的端部,且所述犧牲層的表面形成有多個凹陷,所述凹陷朝向所述襯底的表面的投影落入所述溝槽朝向所述襯底的表面的投影中;刻蝕所述犧牲層,以使所述凹陷與所述溝槽相互連通;于所述溝槽內填充金屬材料,以形成金屬格柵。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人合肥晶合集成電路股份有限公司,其通訊地址為:230012 安徽省合肥市新站區合肥綜合保稅區內西淝河路88號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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