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龍圖騰網恭喜北京精恒工控科技有限公司申請的專利一種用于石英晶體的高精度雙面同步刻蝕系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119775048B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510272457.6，技術領域涉及：C04B41/53；該發明授權一種用于石英晶體的高精度雙面同步刻蝕系統及方法是由廖占武設計研發完成，并于2025-03-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于石英晶體的高精度雙面同步刻蝕系統及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及石英晶體雙面刻蝕技術領域，公開了一種用于石英晶體的高精度雙面同步刻蝕系統及方法，該方法包括：獲取所述石英晶體刻蝕時第一刻蝕面的刻蝕信息和第二刻蝕面的刻蝕信息，根據所述刻蝕槍的同步運行數據和相鄰時段所述刻蝕槍的同步運行數據，獲取數據差異值，根據各所述刻蝕槍的歷史同步運行數據，確定數據差值閾值，根據所述數據差值閾值對所述數據差異值進行篩選，并基于高斯混合模型獲取篩選后數據異常值，根據所述數據異常值，確定兩所述刻蝕槍的同步運行時是否為異常狀態。根據所述兩所述刻蝕槍的同步運行數據以及石英晶體的內部應力，對異常狀態的刻蝕槍進行調整。本發明有效提升石英晶體雙面刻蝕時的效率和精度。

本發明授權一種用于石英晶體的高精度雙面同步刻蝕系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種用于石英晶體的高精度雙面同步刻蝕方法，其特征在于，包括：獲取石英晶體刻蝕時第一刻蝕面的刻蝕信息和第二刻蝕面的刻蝕信息，其中，所述刻蝕信息包括：兩刻蝕槍的同步運行數據和相鄰時段所述刻蝕槍的同步運行數據；根據所述刻蝕槍的同步運行數據和相鄰時段所述刻蝕槍的同步運行數據，獲取數據差異值，獲取各所述刻蝕槍的歷史同步運行數據，根據所述歷史同步運行數據，確定數據差值閾值，根據所述數據差值閾值對所述數據差異值進行篩選，并基于高斯混合模型獲取篩選后數據異常值，根據所述數據異常值，確定兩所述刻蝕槍的同步運行時是否為異常狀態；根據所述兩所述刻蝕槍的同步運行數據以及石英晶體的內部應力，對異常狀態的刻蝕槍進行調整；其特征在于，根據所述歷史同步運行數據，確定數據差值閾值時，包括：；其中，Y表示差異數據閾值，表示歷史正常同步運行數據的差異均值，表示歷史正常同步運行數據的差異標準差，k表示調節因子，其中：；；；其中，Wt表示歷史正常同步運行數據的數據差異值，表示t時刻的同步運行數據，表示t-1時刻的同步運行數據，N表示歷史正常同步運行數據的數量。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京精恒工控科技有限公司，其通訊地址為：101118 北京市通州區宋莊鎮草寺村委會南300米；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。