恭喜北京懷柔實驗室張紅丹獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京懷柔實驗室申請的專利用于晶圓鈍化工藝的支撐裝置及具有其的轉運設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222914782U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202520610415.4,技術領域涉及:H01L21/687;該實用新型用于晶圓鈍化工藝的支撐裝置及具有其的轉運設備是由張紅丹;王亮;李玲;杜玉杰;唐新靈;魏曉光;劉瑞;焦倩倩設計研發完成,并于2025-04-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于晶圓鈍化工藝的支撐裝置及具有其的轉運設備在說明書摘要公布了:本實用新型提供了一種用于晶圓鈍化工藝的支撐裝置及具有其的轉運設備,其中,用于晶圓鈍化工藝的支撐裝置包括:基座;第一支撐件,設置在基座上,第一支撐件上設置有第一導向部,第一導向部用于與晶圓或者擋板導向配合;第二支撐件,與第一支撐件間隔地設置在基座上,第二支撐件上設置有第二導向部,第二導向部與晶圓或者擋板導向配合;其中,第一支撐件和第二支撐件之間形成用于容納晶圓或者擋板的容納區域。本申請的技術方案有效地解決了相關技術中的晶圓或者擋板不易滑落至容納區域內的問題。
本實用新型用于晶圓鈍化工藝的支撐裝置及具有其的轉運設備在權利要求書中公布了:1.一種用于晶圓鈍化工藝的支撐裝置,其特征在于,包括:基座(10);第一支撐件(20),設置在所述基座(10)上,所述第一支撐件(20)上設置有第一導向部(21),所述第一導向部(21)用于與晶圓或者擋板導向配合;第二支撐件(30),與所述第一支撐件(20)間隔地設置在所述基座(10)上,所述第二支撐件(30)上設置有第二導向部(31),所述第二導向部(31)與所述晶圓或者所述擋板導向配合;其中,所述第一支撐件(20)和所述第二支撐件(30)之間形成用于容納所述晶圓或者所述擋板的容納區域。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人北京懷柔實驗室,其通訊地址為:101400 北京市懷柔區楊雁東一路8號院5號樓319室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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