恭喜北京北方華創微電子裝備有限公司袁福順獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利腔室冷卻裝置及半導體加工設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN110890262B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201811056758.1，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權腔室冷卻裝置及半導體加工設備是由袁福順;劉皓;高建強;趙東華設計研發完成，并于2018-09-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本腔室冷卻裝置及半導體加工設備在說明書摘要公布了：本發明提供一種腔室冷卻裝置及半導體加工設備，包括：冷卻槽，設置在腔室底部，用于盛放冷卻液體；多根冷卻管，設置在冷卻槽中，且在多根冷卻管的管壁上均設置有出流口，多根冷卻管上的出流口噴出的水流能夠帶動冷卻槽中的冷卻液體形成旋轉湍流；多根進水管，一一對應地與多根冷卻管連接；并且，在每根進水管上設置有通斷閥和流量調節閥。本發明提供的腔室冷卻裝置，其可以使結構更緊湊、減少流速損失，還可以對多根冷卻管中的流量進行獨立控制，從而可以提高可操作性和水流均勻性。
本發明授權腔室冷卻裝置及半導體加工設備在權利要求書中公布了：1.一種腔室冷卻裝置，其特征在于，包括：冷卻槽，設置在腔室底部，用于盛放冷卻液體；多根冷卻管，設置在所述冷卻槽中，且在多根所述冷卻管的管壁上均設置有出流口，多根所述冷卻管上的出流口噴出的水流能夠帶動所述冷卻槽中的冷卻液體形成旋轉湍流；多根進水管，一一對應地與多根所述冷卻管連接；并且，在每根所述進水管上設置有通斷閥和流量調節閥；每根所述冷卻管的軸線水平設置；每個所述出流口的噴流方向相對于所述冷卻管的軸線傾斜向上設置；每根所述進水管的一端與對應的所述冷卻管連接，每根所述進水管的另一端與冷卻液體源連接。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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