恭喜諾思羅普·格魯曼·利特夫有限責任公司S·柯尼希獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜諾思羅普·格魯曼·利特夫有限責任公司申請的專利改進了零偏穩定性的加速度測量裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113785206B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080033400.6,技術領域涉及:G01P15/125;該發明授權改進了零偏穩定性的加速度測量裝置是由S·柯尼希;馬庫斯·魯夫設計研發完成,并于2020-05-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本改進了零偏穩定性的加速度測量裝置在說明書摘要公布了:本發明涉及一種加速度傳感器100,其具有:傳感器質量塊120,其借助于彈簧元件130設置在基板120上方并可沿運動軸x移動;第一微調電極140,其與傳感器質量塊120相連接;以及傳感器電極160,其與傳感器質量塊120相連接。此外,加速度傳感器100還具有:第二微調電極150,其與基板110相連接并對應于第一微調電極140;以及檢測電極170,其與基板110相連接并對應于傳感器電極160。在此,傳感器電極160和檢測電極170適合于使傳感器質量塊120沿運動軸x偏移,并測量該偏移以及由該傳感器電極160和檢測電極170施加在傳感器質量塊120上的第一靜電力。通過在第一微調電極140和第二微調電極150之間施加微調電壓,在傳感器質量塊120上產生第二靜電力。
本發明授權改進了零偏穩定性的加速度測量裝置在權利要求書中公布了:1.一種加速度傳感器100,具有:傳感器質量塊120,所述傳感器質量塊借助于彈簧元件130設置在基板110上方并能夠沿運動軸x移動;第一微調電極140,所述第一微調電極與所述傳感器質量塊120相連接;傳感器電極160,所述傳感器電極與所述傳感器質量塊120相連接;第二微調電極150,所述第二微調電極與所述基板110相連接并對應于所述第一微調電極140;檢測電極170,所述檢測電極與所述基板110相連接并對應于所述傳感器電極160,其中,所述傳感器電極160和所述檢測電極170被設計為,通過施加的電壓使所述傳感器質量塊120沿所述運動軸x偏移,并測量所述偏移以及由所述傳感器電極160和所述檢測電極170施加在所述傳感器質量塊120上的第一靜電力Fd,以確定所述第一靜電力Fd和所述傳感器質量塊120的偏移之間的關系;所述彈簧元件130被設計用于,當所述傳感器質量塊120沿所述運動軸x偏移時,在所述傳感器質量塊120上產生彈簧力Ff;所述加速度傳感器100被設計為,通過在所述第一微調電極140和所述第二微調電極150之間施加微調電壓,在所述傳感器質量塊120上產生第二靜電力Ft,所述第二靜電力與所述彈簧力Ff相加形成有效彈簧力;所述傳感器電極160和所述檢測電極170被設計為,針對至少兩個不同的微調電壓分別確定所述第一靜電力和所述傳感器質量塊120的偏移之間的關系,并從中針對如下偏移確定中性點:在發生該偏移時,對于所述不同的微調電壓,相應的第一靜電力都相同;并且,所述加速度傳感器100被設計為,調節施加到所述第一微調電極140、所述第二微調電極150、所述傳感器電極160和或所述檢測電極170上的電壓,使得所述傳感器質量塊的偏移由所述傳感器電極160和所述檢測電極170關于所述中性點調節,其中,所述傳感器電極160和所述檢測電極170分為第一對傳感器電極160和檢測電極170以及第二對傳感器電極160和檢測電極170;所述第一對和所述第二對沿著所述運動軸x布置在不同的位置;以一占空比將指定電壓交替地施加在所述第一對的傳感器電極160和檢測電極170以及所述第二對的傳感器電極160和檢測電極170上;通過改變所述占空比能夠改變所述第一靜電力;當所述指定電壓被施加到相應的傳感器電極160和檢測電極170上時,確定由所述傳感器電極160和所述檢測電極170形成的電容器的電容;通過所述第一對的傳感器電極160和檢測電極170與所述第二對的傳感器電極160和檢測電極170之間的電容差確定所述傳感器質量塊120的偏移;并且,所述第一靜電力和所述偏移之間的關系通過所應用的所述占空比和所述電容差之間的關系確定。
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