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龍圖騰網恭喜拓荊科技股份有限公司申請的專利晶圓防偏承載裝置及晶圓防偏方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113823590B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010559923.6，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權晶圓防偏承載裝置及晶圓防偏方法是由鄭旭東設計研發完成，并于2020-06-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓防偏承載裝置及晶圓防偏方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓防偏承載裝置及晶圓防偏方法，其中，所述晶圓防偏承載裝置包括：承載板和多個卡鉤，所述卡鉤通過轉軸與承載板連接且沿承載板的周向均勻布設，所述卡鉤包括一長邊和一短邊，所述長邊的內側設置有限位凸起，自然狀態下，卡鉤處于張開狀態，當將晶圓加載到承載板時，晶圓壓迫短邊，使卡鉤旋轉，直至長邊上的限位凸起與晶圓的側端面相抵后使晶圓處于約束態，此時，卡鉤處于夾緊狀態且卡鉤的短邊的自由端仍高于承載板的上表面，以支撐晶圓。該晶圓防偏承載裝置及晶圓防偏方法可有效防止晶圓在傳輸過程中發生偏移，產生顆粒少且不易聚集，可保證產品質量，應對晶圓變形的適應性好，可適應一定尺寸范圍內的晶圓。

本發明授權晶圓防偏承載裝置及晶圓防偏方法在權利要求書中公布了：1.晶圓防偏承載裝置，其特征在于，包括：承載板1和多個卡鉤2，所述卡鉤2通過轉軸3與承載板1連接且沿承載板1的周向均勻布設，所述卡鉤2包括一長邊21和一短邊22，所述長邊21的內側設置有限位凸起211，所述限位凸起211的下部設置一平面；自然狀態下，卡鉤2處于張開狀態，所有卡鉤的長邊21上的限位凸起211位于第一圓A上，所有卡鉤2的短邊22的自由端高于承載板1的上表面且最高點位于第二圓B上，所述第一圓A與第二圓B同心且第二圓B位于第一圓A的內側，當將晶圓4加載到承載板1時，晶圓4壓迫短邊22，使卡鉤2旋轉，直至長邊21上的限位凸起211的平面與晶圓4的側端面相抵后使晶圓4處于約束態，此時，卡鉤2處于夾緊狀態且卡鉤2的短邊的自由端仍高于承載板1的上表面，以支撐晶圓4。

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