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龍圖騰網(wǎng)恭喜天虹科技股份有限公司申請的專利用以感測遮蔽機(jī)構(gòu)開合的薄膜沉積設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115896732B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111164198.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/56；該發(fā)明授權(quán)用以感測遮蔽機(jī)構(gòu)開合的薄膜沉積設(shè)備是由林俊成;沈祐德設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-09-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用以感測遮蔽機(jī)構(gòu)開合的薄膜沉積設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種用以感測遮蔽機(jī)構(gòu)開合的薄膜沉積設(shè)備，主要包括一反應(yīng)腔體、一承載盤、一遮蔽機(jī)構(gòu)及兩個距離感測單元，其中承載盤及部分的遮蔽機(jī)構(gòu)位于反應(yīng)腔體的容置空間內(nèi)。遮蔽機(jī)構(gòu)包括兩個遮蔽單元及至少一驅(qū)動裝置，其中驅(qū)動裝置連接并驅(qū)動兩個遮蔽單元朝相反方向擺動，使得兩個遮蔽單元操作在開啟狀態(tài)及遮蔽狀態(tài)。兩個遮蔽單元上皆設(shè)置一反射面，當(dāng)遮蔽單元操作在遮蔽狀態(tài)時，兩個距離感測單元產(chǎn)生的感測光束分別投射在兩個遮蔽單元的反射面，并量測兩個遮蔽單元與距離感測單元的距離，以確定遮蔽機(jī)構(gòu)操作在遮蔽狀態(tài)。

本發(fā)明授權(quán)用以感測遮蔽機(jī)構(gòu)開合的薄膜沉積設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用以感測遮蔽機(jī)構(gòu)開合的薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，包括：一反應(yīng)腔體，包括一容置空間；一承載盤，位于該容置空間內(nèi)，并用以承載至少一基板；及一遮蔽機(jī)構(gòu)，包括：一第一遮蔽單元，位于該容置空間內(nèi)，并包括一第一反射面；一第二遮蔽單元，位于該容置空間內(nèi)，并包括一第二反射面；至少一驅(qū)動裝置，連接該第一遮蔽單元及該第二遮蔽單元，并分別驅(qū)動該第一遮蔽單元及該第二遮蔽單元朝相反的方向擺動，使得該第一遮蔽單元及該第二遮蔽單元在一開啟狀態(tài)及一遮蔽狀態(tài)之間切換，其中該遮蔽狀態(tài)的該第一遮蔽單元靠近該第二遮蔽單元，而該開啟狀態(tài)的該第一遮蔽單元及該第二遮蔽單元之間則形成一間隔空間，其中該驅(qū)動裝置包括一軸封裝置及至少一驅(qū)動馬達(dá)，該軸封裝置包括一外管體及一軸體，該外管體包括一空間用以容置該軸體，該驅(qū)動馬達(dá)通過該外管體連接該第一遮蔽單元，通過該軸體連接該第二遮蔽單元，并同步驅(qū)動該軸體及該外管體朝相反的方向轉(zhuǎn)動；一第一距離感測單元，設(shè)置在該反應(yīng)腔體上，并用以將一第一感測光束投射至該第一遮蔽單元的該第一反射面，以確認(rèn)該第一遮蔽單元操作在該遮蔽狀態(tài)；及一第二距離感測單元，設(shè)置在該反應(yīng)腔體上，并用以將一第二感測光束投射至該第二遮蔽單元的該第二反射面，以確定該第二遮蔽單元操作在該遮蔽狀態(tài)；兩個感測區(qū)，連接該反應(yīng)腔體，該感測區(qū)凸出該反應(yīng)腔體，且該兩個感測區(qū)的高度小于該反應(yīng)腔體；兩個遮蔽板感測單元，分別設(shè)置在該兩個感測區(qū)，并分別用以感測進(jìn)入該兩個感測區(qū)的該第一遮蔽單元及該第二遮蔽單元，以確定該第一遮蔽單元及該第二遮蔽單元操作在該開啟狀態(tài)。

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