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龍圖騰網(wǎng)恭喜哈爾濱工業(yè)大學申請的專利一種通過等離子體增強化學氣相沉積增材技術實現(xiàn)零件表面超光滑的方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116377414B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202211666152.6，技術領域涉及：C23C16/26；該發(fā)明授權一種通過等離子體增強化學氣相沉積增材技術實現(xiàn)零件表面超光滑的方法是由王浪平;劉文宇;王小峰設計研發(fā)完成，并于2022-12-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種通過等離子體增強化學氣相沉積增材技術實現(xiàn)零件表面超光滑的方法在說明書摘要公布了：一種通過等離子體增強化學氣相沉積增材技術實現(xiàn)零件表面超光滑的方法，它涉及一種實現(xiàn)零件表面超光滑的方法。本發(fā)明要解決傳統(tǒng)減材超光滑方法耗時長，且現(xiàn)有DLC沉積技術未實現(xiàn)粗糙度由納米級降低至亞納米級的問題。方法：將待處理的零件放入真空室中并抽真空，然后通入乙炔氣體，控制真空室內氣壓，然后通過射頻輝光放電在真空室內部產生乙炔等離子體，設置射頻功率，并在待處理的零件上施加脈沖電壓，在零件表面進行等離子體增強化學氣相沉積得到DLC薄膜。本發(fā)明用于通過等離子體增強化學氣相沉積增材技術實現(xiàn)零件表面超光滑。

本發(fā)明授權一種通過等離子體增強化學氣相沉積增材技術實現(xiàn)零件表面超光滑的方法在權利要求書中公布了：1.一種通過等離子體增強化學氣相沉積增材技術實現(xiàn)零件表面超光滑的方法，其特征在于它是按以下步驟進行：將待處理的零件放入真空室中并抽真空，然后通入氣流流量為10sccm~200sccm的乙炔氣體，控制真空室內氣壓，然后通過射頻輝光放電在真空室內部產生乙炔等離子體，設置射頻功率為0.1kW~2kW，并在待處理的零件上施加幅值為5kV~10kV、頻率為10kHz~100kHz及脈沖寬度為10μs~1000μs的脈沖電壓，在零件表面進行等離子體增強化學氣相沉積得到DLC薄膜，即得到表面超光滑的零件；所述的待處理的零件為表面粗糙度RMS為1.0nm的導電玻璃；所述的表面超光滑的零件表面粗糙度RMS下降到0.5nm。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人哈爾濱工業(yè)大學，其通訊地址為：150001 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。