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龍圖騰網(wǎng)恭喜山東大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利一種用于半導(dǎo)體生長(zhǎng)的碳化鉭涂層及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118344185B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202410261845.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C04B41/87；該發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體生長(zhǎng)的碳化鉭涂層及其制備方法是由王麗煥;馮翔宇;徐現(xiàn)剛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-03-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種用于半導(dǎo)體生長(zhǎng)的碳化鉭涂層及其制備方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料制備技術(shù)領(lǐng)域，涉及生長(zhǎng)半導(dǎo)體基底的制備，具體涉及一種用于半導(dǎo)體生長(zhǎng)的碳化鉭涂層及其制備方法。包括如下步驟：將過(guò)渡層主料顆粒、第一燒結(jié)助劑、第一粘結(jié)劑及第一溶劑混合均勻形成過(guò)渡層懸濁液，將過(guò)渡層懸濁液置于基底表面形成第一預(yù)燒結(jié)層，然后進(jìn)行第一真空燒結(jié)，使第一預(yù)燒結(jié)層形成過(guò)渡層；將碳化鉭粉末、第二燒結(jié)助劑、第二粘結(jié)劑及第二溶劑混合均勻形成碳化鉭層懸濁液，將表面制備所述過(guò)渡層的基底置于所述碳化鉭層懸濁液中進(jìn)行浸漬，然后將浸漬后的基底進(jìn)行第二真空燒結(jié)，即得；本發(fā)明提供的制備方法能夠有效解決現(xiàn)有碳化鉭涂層制品易出現(xiàn)孔隙與裂紋等缺陷和生產(chǎn)成本過(guò)高的弊端。

本發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體生長(zhǎng)的碳化鉭涂層及其制備方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于半導(dǎo)體生長(zhǎng)的碳化鉭涂層的制備方法，其特征是，包括如下步驟：將過(guò)渡層主料顆粒、第一燒結(jié)助劑、第一粘結(jié)劑及第一溶劑混合均勻形成過(guò)渡層懸濁液，將過(guò)渡層懸濁液置于基底表面形成第一預(yù)燒結(jié)層，然后進(jìn)行第一真空燒結(jié)，使第一預(yù)燒結(jié)層形成過(guò)渡層；將碳化鉭粉末、第二燒結(jié)助劑、第二粘結(jié)劑及第二溶劑混合均勻形成碳化鉭層懸濁液，將表面制備所述過(guò)渡層的基底置于所述碳化鉭層懸濁液中進(jìn)行浸漬，然后將浸漬后的基底進(jìn)行第二真空燒結(jié)，即得；其中，過(guò)渡層主料顆粒、第一燒結(jié)助劑、第二燒結(jié)助劑為非碳化鉭的碳化物，過(guò)渡層主料顆粒的粒徑大于碳化鉭粉末的粒徑；所述非碳化鉭的碳化物包括HfC、TiC、WC中的一種或多種；第一粘結(jié)劑為酚醛樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、石墨膠、聚乙烯醇、有機(jī)硅樹(shù)脂、丙烯酸酯、聚氯乙烯中的一種或幾種的混合物；所述第二粘結(jié)劑為酚醛樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、石墨膠、聚乙烯醇、有機(jī)硅樹(shù)脂、丙烯酸酯、聚氯乙烯中的一種或幾種的混合物；過(guò)渡層主料顆粒的粒度為10~100μm；碳化鉭粉末的粒度為0.1~10μm；所述碳化鉭涂層表面無(wú)裂紋、無(wú)通孔。

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