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龍圖騰網恭喜涌淳半導體(無錫)有限公司申請的專利一種晶圓加工用高溫退火冷卻設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119153371B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411649497.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種晶圓加工用高溫退火冷卻設備是由曹曉光;李峰;邵秋新設計研發完成，并于2024-11-19向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓加工用高溫退火冷卻設備在說明書摘要公布了：本發明涉及晶圓退火技術領域，公開了一種晶圓加工用高溫退火冷卻設備，包括進料箱，所述進料箱的內部開設有冷卻腔，所述進料箱的前端面并且和冷卻腔相連通開設有進料口，所述冷卻腔的下端豎直安裝有升降氣缸，所述升降氣缸的內部向上活動設置有升降桿，所述升降桿伸入冷卻腔內。本發明所述的一種晶圓加工用高溫退火冷卻設備，設計真空抽吸泵，第一對退火室抽真空，便于惰性氣體進入作為保護氣；第二真空抽吸泵抽吸的空氣通過第一進氣管注入到環形氣囊內，使環形氣囊充氣，跟密封板的外邊沿充分接觸，加強密封作用，使退火室處于密封狀態；第三真空抽吸泵抽吸的空氣通過第二進氣管注入到儲氣罐內，作為噴吹的備用氣體，達到節能的作用。

本發明授權一種晶圓加工用高溫退火冷卻設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓加工用高溫退火冷卻設備，包括進料箱（1），其特征在于：所述進料箱（1）的內部開設有冷卻腔（2），所述進料箱（1）的前端面、和冷卻腔（2）相連通處開設有進料口（3），所述冷卻腔（2）的下端豎直安裝有升降氣缸（10），所述升降氣缸（10）的內部向上活動設置有升降桿（11），所述升降桿（11）伸入冷卻腔（2）內，所述升降桿（11）的頂部焊接有密封板（12），所述密封板（12）的上端面中間位置處連接有接料桿（13），所述接料桿（13）供晶圓片（14）平放；所述進料箱（1）的上端中間位置處設置有退火爐（4），所述退火爐（4）的內部開設有退火室（5），所述退火室（5）和冷卻腔（2）之間開設有連接通口（15），所述連接通口（15）供密封板（12）和晶圓片（14）穿過，所述連接通口（15）上安裝有氣囊密封結構（9）；所述退火室（5）的頂部鉚接有隔熱板（22），所述隔熱板（22）的下端面均勻安裝有若干組第一加熱器（20），所述退火爐（4）的爐壁一周均勻分布有若干組第二加熱器（21），所述退火爐（4）的上端面中間位置安裝有真空抽吸泵（40），所述真空抽吸泵（40）的抽吸管伸入到退火室（5）內部，所述真空抽吸泵（40）的排氣口連接有多孔接頭（41）；所述氣囊密封結構（9）包括氣囊收納架（91）、環形氣囊（92）、第一進氣管（93）和釋壓閥（94），所述氣囊收納架（91）固定在連接通口（15）的內側面一周，所述氣囊收納架（91）的內側面膠接有環形氣囊（92），所述環形氣囊（92）的局部向內伸出作用在密封板（12）的外邊沿，所述環形氣囊（92）的側面穿過氣囊收納架（91）向外延伸設置有第一進氣管（93），所述第一進氣管（93）穿過進料箱（1）的上端面和多孔接頭（41）連接，所述氣囊收納架（91）的外側面安裝有和環形氣囊（92）內部連通的釋壓閥（94）；所述進料箱（1）的下端固定有惰性氣體保溫罐（50），所述惰性氣體保溫罐（50）的內表面設置有保溫層，所述惰性氣體保溫罐（50）的一側安裝有增壓泵（51），所述增壓泵（51）的泵口處向上連接有保溫管（52），所述保溫管（52）向上延伸進入到退火室（5）內，所述保溫管（52）的上端部設置有第一單向閥（53）；所述惰性氣體保溫罐（50）的另一側連通設置有排氣管（54），所述排氣管（54）的下端部靠近惰性氣體保溫罐（50）的位置安裝有電磁控制閥（55），所述排氣管（54）向上延伸進入到退火室（5）內，所述排氣管（54）的上端部安裝有第二單向閥（56）；所述進料箱（1）的后端面鉚接有支架（60），所述支架（60）上安裝有儲氣罐（61），所述儲氣罐（61）的外部一周設置有環形冷卻筒（62），所述環形冷卻筒（62）內盛放有冷卻水，所述儲氣罐（61）的頂部向上延伸連通設置有第二進氣管（63），所述第二進氣管（63）上端和多孔接頭（41）連接，所述儲氣罐（61）的一端面中間位置處連通設置有噴吹管（65），所述噴吹管（65）靠近儲氣罐（61）的一端安裝有脈沖閥（64），所述噴吹管（65）穿過進料箱（1）向退火室（5）內延伸，所述噴吹管（65）遠離脈沖閥（64）的一端安裝有作用于晶圓片（14）的噴頭（66）；啟動真空抽吸泵（40），利用抽吸管抽吸退火室（5）內部的空氣，并首先將空氣通過第一進氣管（93）注入到環形氣囊（92）內，使環形氣囊（92）充氣，一周均向外膨脹，并且跟密封板（12）的外邊沿充分接觸，這時退火室（5）處于密封狀態，繼續利用抽吸管抽吸退火室（5）內部的空氣，并直接向外排放，直至退火室（5）內形成真空狀態；打開排氣管（54）上的電磁控制閥（55），將惰性氣體保溫罐（50）內的惰性氣體通過排氣管（54）釋放進入到退火室（5）內，使退火室（5）內具有大量惰性氣體，壓強和外界保持一致；開啟增壓泵（51），利用保溫管（52）慢慢抽吸退火室（5）內的高溫惰性氣體，高溫惰性氣體被輸送進入到惰性氣體保溫罐（50）內進行保溫，循環使用，并使退火室（5）的溫度慢慢下降，晶圓片（14）也緩慢利用熱輻射的方式進行散熱，直至晶圓片（14）的溫度低于和空氣發生氧化反應的溫度，這時打開釋壓閥（94），釋放環形氣囊（92）內空氣，使其收縮，讓升降桿（11）上升，帶動接料桿（13）移動到晶圓片（14）的底部，讓夾片器（8）的曲形夾頭（86）回位，這時再讓升降桿（11）下降，接料桿（13）和晶圓片（14）重新回到冷卻腔（2）內進行自然冷卻；打開多孔接頭（41）的另一個接頭閥，真空抽吸泵（40）利用抽吸管抽吸退火室（5）內部的空氣，并將余下空氣通過第二進氣管（63）注入到儲氣罐（61）內，在儲氣罐（61）內儲存的空氣會受到環形冷卻筒（62）的緩慢冷卻，使高壓的空氣保持低溫狀態。

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