恭喜華芯程(杭州)科技有限公司孫鵬飛獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜華芯程(杭州)科技有限公司申請的專利光學鄰近預修正方法、裝置、介質、程序產品及終端獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119200320B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411733380.X，技術領域涉及：G03F1/36；該發明授權光學鄰近預修正方法、裝置、介質、程序產品及終端是由孫鵬飛;吳志強;洪鼎易設計研發完成，并于2024-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本光學鄰近預修正方法、裝置、介質、程序產品及終端在說明書摘要公布了：本申請提供光學鄰近預修正方法、裝置、介質、程序產品及終端，通過獲取一層或多層待修正版圖，提取對應的圖形參數和錨點參數，并對每層有橋接風險的周期性圖形中的圖形元素進行預修正，以生成預修正版圖。本申請有效避免橋接現象，確保晶圓圖案的完整性及電路功能正常；同時提高OPC修正效率，優化光學鄰近效應補償，顯著減少修正所需時間與資源，提升生產效率；此外，還擴大了工藝窗口，提升了修正精度和穩定性，降低了缺陷率；降低了工藝風險的同時，提高了最終產品的質量。
本發明授權光學鄰近預修正方法、裝置、介質、程序產品及終端在權利要求書中公布了：1.一種光學鄰近預修正方法，其特征在于，所述方法包括：獲取一層或多層待修正版圖，其中每層待修正版圖中包含一個由多個圖形元素組成的周期性圖案；從每層待修正版圖中提取出對應的周期性圖形的圖形參數和錨點參數；周期性圖形的圖形參數包括：周期性圖形的線寬和間距；周期性圖形的錨點參數包括：錨點線寬和錨點間距；基于所述圖形參數和錨點參數，對每層的周期性圖形中每個已識別為具有橋接風險的圖形元素進行預修正，包括：根據所述圖形參數和錨點參數，計算每個圖形元素邊緣上每個點的平移距離；根據計算所述平移距離，將對應圖形元素沿預設方向進行平移，以生成預修正版圖。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華芯程(杭州)科技有限公司，其通訊地址為：311100 浙江省杭州市余杭區良渚街道網周路99號1幢22層2208室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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