買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市新晶路電子科技有限公司申請的專利一種晶圓盤擴膜裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN119560450B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510122142.3，技術領域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權一種晶圓盤擴膜裝置是由謝亮春;張小波;鄧攀設計研發(fā)完成，并于2025-01-26向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本一種晶圓盤擴膜裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種晶圓盤擴膜裝置，涉及半導體設備技術領域，包括：底座；固定組件，固定組件置于底座頂部的一側，固定組件包括設置在底座頂部一側的壓板，本發(fā)明中，首先，將晶圓盤放置在壓板底部，并通過固定螺栓和托板將其穩(wěn)固地固定在固定板上，接著，啟動旋轉組件中的第一傳動電機和第二傳動電機，第一傳動電機通過第一轉動桿、第二轉動桿以及活動球等部件帶動活動桿進行旋轉，從而調整晶圓盤的位置，同時，第二傳動電機驅動錐齒輪轉動，進一步帶動第一轉動塊在固定殼內轉動，實現(xiàn)對晶圓盤的旋轉擴膜，整個過程中，各部件協(xié)同工作，實現(xiàn)了對晶圓盤擴膜前進行水平偏移晃動，使得液態(tài)薄膜能夠均勻地散布至晶圓表面。

本發(fā)明授權一種晶圓盤擴膜裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓盤擴膜裝置，其特征在于，包括：底座（1）；固定組件（2），固定組件（2）置于底座（1）頂部的一側，固定組件（2）包括設置在底座（1）頂部一側的壓板（21），所述壓板（21）的底部設置有晶圓盤（22），所述晶圓盤（22）內設置有頂圈（23），所述頂圈（23）的底部設置有托板（24），所述托板（24）的底部螺紋連接有固定螺栓（25），所述托板（24）的底部一側固定連接有固定板（26）；旋轉組件（3），旋轉組件（3）置于底座（1）上靠近固定板（26）底部的一側，旋轉組件（3）包括固定連接在底座（1）上靠近固定板（26）底部一側的固定殼（31），所述固定殼（31）的一側安裝有第一傳動電機（32），所述第一傳動電機（32）的輸出端固定連接有第一轉動桿（33），所述第一轉動桿（33）的另一端轉動連接有第二轉動桿（34），所述第二轉動桿（34）上開設有第一活動球槽（35），所述第一活動球槽（35）內活動連接有第一活動球（36），所述第一活動球（36）的頂部固定連接有活動桿（37），所述活動桿（37）上遠離第一活動球（36）的一端固定連接有第二活動球（38），所述固定殼（31）的一側安裝有第二傳動電機（39），所述第二傳動電機（39）的輸出端固定連接有錐齒輪（310），所述固定殼（31）內轉動連接有第一轉動塊（311），所述第一轉動塊（311）的底部開設有齒槽（312），所述固定殼（31）的頂部設置有連接板（313），所述連接板（313）的底部設置有第一限位板（314），所述第一限位板（314）上開設有第二限位槽（315），所述連接板（313）的底部靠近第二限位槽（315）的一側固定連接有第一限位桿（316），所述第一限位板（314）上轉動連接有第二轉動塊（317），所述連接板（313）上開設有第二活動球槽（318），所述第二活動球（38）活動連接在第二活動球槽（318）內。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人深圳市新晶路電子科技有限公司，其通訊地址為：518110 廣東省深圳市龍華區(qū)福城街道桔塘社區(qū)榮富路14號2025銘廣智創(chuàng)園廠房A棟101；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。