恭喜佛山大學喬健獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜佛山大學申請的專利Micro Led芯片的光杠桿檢測裝置及檢測方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119827026B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510309041.7,技術領域涉及:G01L1/24;該發明授權Micro Led芯片的光杠桿檢測裝置及檢測方法是由喬健;金哲;楊景衛;王繼恒;翁占坤;程曉琦設計研發完成,并于2025-03-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本Micro Led芯片的光杠桿檢測裝置及檢測方法在說明書摘要公布了:本發明涉及芯片鍵合質量檢測領域,一種MicroLed芯片的光杠桿檢測裝置及檢測方法,包括樣品位移臺、力變形件、光學模塊和檢測模塊,樣品位移臺用于待檢測芯片移送到目標檢測位置,力變形件包括夾持部、懸臂和探頭部,光學模塊包括支撐件、夾具、反射棱鏡、光闌組件和激光源;本發明的MicroLed芯片的光杠桿檢測裝置,由于激光源發射激光束通過光闌組件至反射棱鏡,激光束被反射棱鏡反射至探頭部表面,探頭部表面反射光線的角度信息被探測器識別接收,從而當探頭部抵接在待檢測芯片變形量不同時,懸臂或探頭部產生形變,表面反射光線的角度發生改變,進而探測器根據反射光線的角度變化檢測待檢測芯片與探頭部的接觸力大小。
本發明授權Micro Led芯片的光杠桿檢測裝置及檢測方法在權利要求書中公布了:1.一種MicroLed芯片的光杠桿檢測裝置,其特征在于,包括:樣品位移臺,所述樣品位移臺用于裝載待檢測芯片,并將待檢測芯片移送到目標檢測位置;力變形件,所述力變形件包括夾持部、懸臂和探頭部,所述懸臂的兩端分別連接所述夾持部和探頭部,所述探頭部抵接于待檢測芯片;光學模塊,所述光學模塊包括支撐件、夾具、反射棱鏡、光闌組件和激光源,所述夾具連接于所述支撐件的一端用于連接所述夾持部,所述反射棱鏡滑動于所述支撐件上,且位于所述夾持部上方,所述激光源位于所述支撐件遠離所述反射棱鏡的位置上,所述光闌組件位于所述激光源與所述反射棱鏡之間;檢測模塊,所述檢測模塊包括監控相機和探測器,所述監控相機位于所述探頭部上方用于識別所述力變形件與待檢測芯片的相對位置,所述探測器位于所述探頭部斜向上方向;其中,待檢測芯片連接于基板產生鍵合力,所述激光源發射激光束通過所述光闌組件至所述反射棱鏡,激光束被所述反射棱鏡反射至所述探頭部表面,所述探頭部表面反射光線的角度信息被所述探測器識別接收,當探頭部抵接在待檢測芯片變形量不同時,所述探頭部表面反射光線的角度發生改變,以檢測待檢測芯片與所述探頭部的接觸力大小。
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