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龍圖騰網恭喜上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利對準裝置、光刻機及對準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114690596B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011632413.3，技術領域涉及：G03F9/00；該發明授權對準裝置、光刻機及對準方法是由高安;邢奕飛;孫建超設計研發完成，并于2020-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本對準裝置、光刻機及對準方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種對準裝置、光刻機以及對準方法。其中，第一鏡組將光照分為第一光束和第二光束，第二鏡組將第二光束轉為第三光束。第一光束和第三光束經光柵標記發生衍射并產生衍射光。第一光束的衍射光經第二鏡組和第一鏡組后進入探測單元，第三光束的衍射光經第一鏡組后進入探測單元。再經第一波片，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分別發生干涉。然后經第一偏振分光棱鏡分為第一偏振光和第二偏振光，并由第一探測器和第二探測器分別獲取對應的光能量。當移動光柵標記至光能量均達到預設值時，光柵標記的所在位置為對準位置。故本發明分別獲取兩束衍射光，并經第一波片實現二者干涉，無需使用自參考干涉棱鏡，以降低成本，提高對準精度。

本發明授權對準裝置、光刻機及對準方法在權利要求書中公布了：1.一種對準裝置，其特征在于，所述對準裝置包括：光照單元、分光單元和探測單元；其中，所述光照單元用于提供光照；所述分光單元包括第一鏡組和第二鏡組；所述第一鏡組用于將所述光照分為具有第一偏振方向的第一光束和具有第二偏振方向的第二光束，所述第二鏡組用于將所述第二光束轉為具有第一偏振方向的第三光束；所述第一光束和所述第三光束經一光柵標記發生衍射，并分別產生第一光束的衍射光和第三光束的衍射光；其中，所述第一光束的衍射光依次經所述第二鏡組和所述第一鏡組后進入所述探測單元，所述第三光束的衍射光經所述第一鏡組后進入所述探測單元；所述探測單元包括第一波片、第一偏振分光棱鏡、第一探測器和第二探測器；所述第一光束的衍射光和所述第三光束的衍射光經所述第一波片后改變偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分別發生干涉，并形成干涉光；所述干涉光進入所述第一偏振分光棱鏡，并經所述第一偏振分光棱鏡分為第一偏振光和第二偏振光；所述第一探測器獲取第一偏振光的光能量，所述第二探測器獲取第二偏振光的光能量；其中，當移動所述光柵標記至所述第一探測器和所述第二探測器分別獲取的所述光能量均達到預設值時，所述光柵標記的所在位置為對準位置。

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