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龍圖騰網恭喜名正(浙江)電子裝備有限公司;安徽名正電子裝備有限公司申請的專利一種基于壓力傳感的晶圓研磨拋光加工調節方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119407618B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510026765.0，技術領域涉及：B24B1/00；該發明授權一種基于壓力傳感的晶圓研磨拋光加工調節方法是由鄭勇設計研發完成，并于2025-01-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于壓力傳感的晶圓研磨拋光加工調節方法在說明書摘要公布了：本發明涉及晶圓加工技術領域，具體公開了一種基于壓力傳感的晶圓研磨拋光加工調節方法，所述方法包括：S1：對待加工晶圓的當前初始厚度進行測量，確定待加工晶圓的目標厚度，并將晶圓粘接到基板上，通過實時采集打磨作業中打磨設備與晶圓的狀態參數數據進行分析，可以確定晶圓在不同時間點的打磨狀態，當打磨盤的磨損較為嚴重時，可以根據晶圓在不同時間點的打磨狀態，實時調整打磨推桿的給進距離，從而保證在整個打磨過程中打磨盤與晶圓均有良好的接觸，保證打磨的效率以及效果，并且通過對加工完成后的晶圓狀態進行分析，可以對打磨盤是否需要更換進行判斷，從而避免磨損嚴重的打磨盤增加打磨設備的負荷，加速設備的磨損和老化。

本發明授權一種基于壓力傳感的晶圓研磨拋光加工調節方法在權利要求書中公布了：1.一種基于壓力傳感的晶圓研磨拋光加工調節方法，其特征在于，所述方法包括：S1：對待加工晶圓的當前初始厚度進行測量，確定待加工晶圓的目標厚度，并將晶圓粘接到基板上；S2：根據預設控制策略調整研磨推桿的初始給進距離，使研磨盤與待加工晶圓之間的壓力到達預設控制策略對應的大小；S3：按照預設策略中的研磨盤轉速進行研磨作業，并實時采集研磨設備與晶圓的狀態參數數據進行分析，確定晶圓在不同時間點的研磨狀態，并根據晶圓在不同時間點的研磨狀態，實時調整研磨推桿的給進距離；S4：當晶圓研磨至目標厚度時，對加工完成后的晶圓狀態進行分析，判斷是否需要更換研磨盤，若為否，完成晶圓研磨作業，若為是，進行步驟S5：S5：當判斷需要更換研磨盤時，做出警告，并自動停止晶圓研磨作業，等待研磨盤更換；所述S3中調整研磨推桿的給進距離的過程包括：S31：首先采集晶圓在研磨時的狀態數據，其中包括晶圓在研磨過程中的表面溫度、厚度與研磨漿顏色深度；S32：通過采集研磨盤與待加工晶圓之間的壓力變化以及研磨盤的轉速變化，并結合S31中采集的數據，計算晶圓在不同時間點的研磨狀態影響系數；S33：通過將晶圓在不同時間點的研磨狀態影響系數與預設的影響系數進行比對，并根據比對結果判斷是否需要調整研磨推桿的給進距離，若為否，不做操作，若為是，進行步驟S34；S34：通過結合晶圓在不同時間點的研磨狀態影響系數以及研磨推桿的驅動電機設備參數，對研磨推桿的給進距離進行調整。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人名正(浙江)電子裝備有限公司;安徽名正電子裝備有限公司，其通訊地址為：314000 浙江省嘉興市秀洲區洪合鎮塘濮路455號4號樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。