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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江大學(xué);浙江創(chuàng)芯集成電路有限公司申請的專利一種自監(jiān)督加強的半監(jiān)督的晶圓失效預(yù)測方法及系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119557571B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510132618.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F18/10；該發(fā)明授權(quán)一種自監(jiān)督加強的半監(jiān)督的晶圓失效預(yù)測方法及系統(tǒng)是由陳一寧;郭龐;高大為;陳鼎崴設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-02-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種自監(jiān)督加強的半監(jiān)督的晶圓失效預(yù)測方法及系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種自監(jiān)督加強的半監(jiān)督的晶圓失效預(yù)測方法及系統(tǒng)，屬于晶圓失效檢測領(lǐng)域。獲取晶圓可接受性測試探針測試數(shù)據(jù)構(gòu)造訓(xùn)練集；對晶圓特征編碼器進行自監(jiān)督預(yù)訓(xùn)練；利用預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器生成各樣本的原始晶圓編碼特征，并分別添加強弱噪聲，添加強噪聲時引入數(shù)據(jù)增強約束并計算損失；將添加強弱噪聲前后的晶圓編碼特征分別利用晶圓失效分類器預(yù)測晶圓是否失效，計算一致性損失；此外還需要計算少量有標(biāo)簽數(shù)據(jù)的監(jiān)督損失；通過聯(lián)合上述損失對預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器和晶圓失效分類器進行半監(jiān)督訓(xùn)練，半監(jiān)督訓(xùn)練后的模型用于實際晶圓失效檢測。本發(fā)明充分利用大量晶圓無標(biāo)簽數(shù)據(jù)和少量晶圓有標(biāo)簽數(shù)據(jù)，提高了晶圓失效的預(yù)測準(zhǔn)確率。

本發(fā)明授權(quán)一種自監(jiān)督加強的半監(jiān)督的晶圓失效預(yù)測方法及系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種自監(jiān)督加強的半監(jiān)督的晶圓失效預(yù)測方法，其特征在于，包括：獲取晶圓可接受性測試數(shù)據(jù)和探針測試數(shù)據(jù)，預(yù)處理并匹配數(shù)據(jù)，得到有標(biāo)簽晶圓樣本和無標(biāo)簽晶圓樣本作為訓(xùn)練集；利用訓(xùn)練集對晶圓特征編碼器進行自監(jiān)督掩碼預(yù)訓(xùn)練，得到預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器；利用預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器生成訓(xùn)練集中各樣本的原始晶圓編碼特征，對原始晶圓編碼特征分別添加強噪聲和弱噪聲；對所述的原始晶圓編碼特征添加強噪聲時引入數(shù)據(jù)增強約束，計算數(shù)據(jù)增強約束損失；所述的數(shù)據(jù)增強約束損失如下： 其中，Lr表示數(shù)據(jù)增強約束損失，xi表示訓(xùn)練集中的原始樣本i，xg表示強增強噪聲樣本，表示L2范數(shù)的平方，l表示預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器生成的編碼特征維度，分別表示原始樣本i經(jīng)過預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器生成的編碼特征第j維的方差和均值，α、β表示預(yù)設(shè)的超參數(shù)，N表示訓(xùn)練集中的原始樣本數(shù)量；將原始晶圓編碼特征、添加強噪聲后的強增強晶圓編碼特征、添加弱噪聲后的弱增強晶圓編碼特征分別利用晶圓失效分類器預(yù)測晶圓是否失效，根據(jù)失效預(yù)測結(jié)果計算一致性損失和監(jiān)督損失；所述的監(jiān)督損失僅針對訓(xùn)練集中的有標(biāo)簽晶圓樣本；聯(lián)合所述的數(shù)據(jù)增強約束損失、一致性損失和監(jiān)督損失對預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器和晶圓失效分類器進行半監(jiān)督訓(xùn)練，利用半監(jiān)督訓(xùn)練后的預(yù)訓(xùn)練晶圓特征編碼器和晶圓失效分類器預(yù)測晶圓是否失效。

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