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恭喜中芯長電半導體(江陰)有限公司王厚農獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜中芯長電半導體(江陰)有限公司申請的專利CP探針機及其調節方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112053966B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910492031.6,技術領域涉及:H01L21/66;該發明授權CP探針機及其調節方法是由王厚農;李彥勛;顧雯霞;羅世凱設計研發完成,并于2019-06-06向國家知識產權局提交的專利申請。

CP探針機及其調節方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種CP探針機及其調節方法,CP探針機包括晶圓承載臺;至少兩個高度調節裝置,高度調節裝置與晶圓承載臺相接觸;支撐件,支撐件與晶圓承載臺活動連接,通過支撐件支撐晶圓承載臺,且支撐件位于高度調節裝置之間;控制器,控制器與高度調節裝置電連接,通過控制器調節高度調節裝置的高度,以調節晶圓承載臺的水平位置。本發明可實現對晶圓承載臺的水平位置的調節,從而使得CP探針機可自動檢測及校正探針卡與晶圓承載臺之間的相互水平位置,提高生產效率、提高CP測試結果準確性、提高產品質量、降低成本,并提高了CP探針機的適用性。

本發明授權CP探針機及其調節方法在權利要求書中公布了:1.一種CP探針機,其特征在于,所述CP探針機包括: 晶圓承載臺; 至少兩個高度調節裝置,所述高度調節裝置與所述晶圓承載臺相接觸; 支撐件,所述支撐件與所述晶圓承載臺活動連接,通過所述支撐件支撐所述晶圓承載臺,且所述支撐件位于所述高度調節裝置之間; 控制器,所述控制器與所述高度調節裝置電連接,通過所述控制器調節所述高度調節裝置的高度,以調節所述晶圓承載臺的水平位置; 所述高度調節裝置包括依次相連接的驅動件、傳動件及升降件,其中,所述驅動件與所述控制器電連接,所述升降件與所述晶圓承載臺相接觸,通過所述控制器啟動所述驅動件,通過所述傳動件帶動所述升降件運行,以調節所述晶圓承載臺的水平位置;所述高度調節裝置位于所述晶圓承載臺的底部邊緣,且相鄰的所述高度調節裝置等間距分布;所述支撐件位于所述晶圓承載臺的底部中心,各個所述高度調節裝置與所述支撐件具有相等的間距,所述支撐件包括球形支撐軸。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中芯長電半導體(江陰)有限公司,其通訊地址為:214437 江蘇省無錫市江陰市長山大道78號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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