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龍圖騰網(wǎng)恭喜季華實(shí)驗(yàn)室申請(qǐng)的專(zhuān)利基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法及相關(guān)設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119643584B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510178324.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/95；該發(fā)明授權(quán)基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法及相關(guān)設(shè)備是由蘇昀昊;黃偉華;畢海;石壯威;訾劍臣設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法及相關(guān)設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法及相關(guān)設(shè)備，涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，其中基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法包括以下步驟：根據(jù)布里淵光譜信息獲取實(shí)測(cè)半高寬和實(shí)測(cè)頻移；根據(jù)實(shí)測(cè)半高寬、實(shí)測(cè)頻移、標(biāo)準(zhǔn)半高寬和標(biāo)準(zhǔn)頻移計(jì)算晶格排列規(guī)則度，晶格排列規(guī)則度用于表征晶圓對(duì)應(yīng)檢測(cè)位置點(diǎn)處是否存在晶體缺陷。本申請(qǐng)的基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法能解決現(xiàn)有的晶圓檢測(cè)技術(shù)無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的晶體缺陷進(jìn)行無(wú)損快速準(zhǔn)確檢測(cè)的問(wèn)題，能無(wú)損、快速且準(zhǔn)確地檢測(cè)晶圓的晶體缺陷。

本發(fā)明授權(quán)基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法及相關(guān)設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基于布里淵光譜的晶圓檢測(cè)方法，應(yīng)用于光譜探測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光譜探測(cè)系統(tǒng)包括依照光路依次設(shè)置的激光源（1）、分光件（2）、聚焦件（3）和運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（4），所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（4）用于承載并驅(qū)動(dòng)晶圓位移以切換檢測(cè)位置點(diǎn)；所述光譜探測(cè)系統(tǒng)還包括：光譜探測(cè)裝置（5），設(shè)置在所述分光件（2）一側(cè)，用于接收晶圓的檢測(cè)位置點(diǎn)處基于激光激發(fā)出的布里淵散射光以探測(cè)布里淵光譜信息；所述檢測(cè)方法在運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（4）驅(qū)動(dòng)晶圓位移的過(guò)程中執(zhí)行，所述檢測(cè)方法包括以下步驟：S1.根據(jù)所述布里淵光譜信息獲取實(shí)測(cè)半高寬和實(shí)測(cè)頻移；S2.根據(jù)所述實(shí)測(cè)半高寬、所述實(shí)測(cè)頻移、標(biāo)準(zhǔn)半高寬和標(biāo)準(zhǔn)頻移計(jì)算晶格排列規(guī)則度，所述晶格排列規(guī)則度用于表征晶圓對(duì)應(yīng)檢測(cè)位置點(diǎn)處是否存在晶體缺陷，所述根據(jù)所述實(shí)測(cè)半高寬、所述實(shí)測(cè)頻移、標(biāo)準(zhǔn)半高寬和標(biāo)準(zhǔn)頻移計(jì)算晶格排列規(guī)則度的過(guò)程基于下式進(jìn)行： ；其中，D為晶格排列規(guī)則度，Γ為實(shí)測(cè)半高寬，Γ0為標(biāo)準(zhǔn)半高寬，Δf為實(shí)測(cè)頻移，Δf0為標(biāo)準(zhǔn)頻移，a和b分別為第一權(quán)重和第二權(quán)重。

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