季華實驗室蘇昀昊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉季華實驗室申請的專利基于布里淵光譜的晶圓檢測方法及相關設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119643584B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510178324.2,技術領域涉及:G01N21/95;該發明授權基于布里淵光譜的晶圓檢測方法及相關設備是由蘇昀昊;黃偉華;畢海;石壯威;訾劍臣設計研發完成,并于2025-02-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于布里淵光譜的晶圓檢測方法及相關設備在說明書摘要公布了:本發明公開了一種基于布里淵光譜的晶圓檢測方法及相關設備,涉及晶圓檢測技術領域,其中基于布里淵光譜的晶圓檢測方法包括以下步驟:根據布里淵光譜信息獲取實測半高寬和實測頻移;根據實測半高寬、實測頻移、標準半高寬和標準頻移計算晶格排列規則度,晶格排列規則度用于表征晶圓對應檢測位置點處是否存在晶體缺陷。本申請的基于布里淵光譜的晶圓檢測方法能解決現有的晶圓檢測技術無法實現對晶圓的晶體缺陷進行無損快速準確檢測的問題,能無損、快速且準確地檢測晶圓的晶體缺陷。
本發明授權基于布里淵光譜的晶圓檢測方法及相關設備在權利要求書中公布了:1.一種基于布里淵光譜的晶圓檢測方法,應用于光譜探測系統,其特征在于,所述光譜探測系統包括依照光路依次設置的激光源(1)、分光件(2)、聚焦件(3)和運動機構(4),所述運動機構(4)用于承載并驅動晶圓位移以切換檢測位置點;所述光譜探測系統還包括:光譜探測裝置(5),設置在所述分光件(2)一側,用于接收晶圓的檢測位置點處基于激光激發出的布里淵散射光以探測布里淵光譜信息;所述檢測方法在運動機構(4)驅動晶圓位移的過程中執行,所述檢測方法包括以下步驟:S1.根據所述布里淵光譜信息獲取實測半高寬和實測頻移;S2.根據所述實測半高寬、所述實測頻移、標準半高寬和標準頻移計算晶格排列規則度,所述晶格排列規則度用于表征晶圓對應檢測位置點處是否存在晶體缺陷,所述根據所述實測半高寬、所述實測頻移、標準半高寬和標準頻移計算晶格排列規則度的過程基于下式進行: ;其中,D為晶格排列規則度,Γ為實測半高寬,Γ0為標準半高寬,Δf為實測頻移,Δf0為標準頻移,a和b分別為第一權重和第二權重。
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