買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利除電方法和基片處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111863691B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010299562.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)除電方法和基片處理裝置是由荒金俊行;綱本哲;大﨑良規(guī);佐藤雅紀(jì)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-04-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本除電方法和基片處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種除電方法和基片處理裝置。除電方法包括：在靜電吸盤上載置有基片的狀態(tài)下向處理容器內(nèi)導(dǎo)入氣體的步驟；一邊對所述靜電吸盤的吸附電極施加直流電壓一邊增大該直流電壓的絕對值，直至開始基于所述氣體的放電的步驟；在基于所述氣體的放電開始后，施加使所述基片的電荷量達(dá)到成為0或者接近0的電荷中和區(qū)域的所述直流電壓的絕對值的步驟；和施加所述直流電壓的絕對值直至達(dá)到所述電荷中和區(qū)域之后，使所述基片從所述靜電吸盤脫離的步驟。本發(fā)明能夠?qū)臍埩粑竭M(jìn)行充分的除電。

本發(fā)明授權(quán)除電方法和基片處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種除電方法，其特征在于，具有：步驟a，在靜電吸盤上載置有基片的情況下向處理容器內(nèi)導(dǎo)入氣體；步驟b，一邊對所述靜電吸盤的吸附電極施加直流電壓一邊增大該直流電壓的絕對值，直至開始基于所述氣體的放電；步驟c，在基于所述氣體的放電開始之后，施加使所述基片的電荷量達(dá)到成為0的電荷中和區(qū)域的所述直流電壓的絕對值；步驟d，施加所述直流電壓的絕對值直至達(dá)到所述電荷中和區(qū)域之后，使所述基片從所述靜電吸盤脫離；步驟e，計(jì)算所述基片的殘留電荷量；和步驟f，基于計(jì)算出的所述殘留電荷量，計(jì)算使所述基片的電荷量達(dá)到所述電荷中和區(qū)域的所述直流電壓的絕對值，在步驟c中，施加步驟f中計(jì)算出的所述直流電壓的絕對值，在步驟e中，通過使推升所述基片用的升降銷在上下方向上移動(dòng)來使所述基片振動(dòng)，并基于此時(shí)在所述吸附電極中流動(dòng)的感應(yīng)電流來計(jì)算所述殘留電荷量。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。