恭喜應用材料公司R·高塔姆獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利內嵌微波批量除氣腔室獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113994461B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080044325.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權內嵌微波批量除氣腔室是由R·高塔姆;A·朱普迪;高德豐;P·P·饒;V·拉馬錢德蘭;歐岳生;和田優一;蔡振雄;K·L·劉設計研發完成，并于2020-05-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本內嵌微波批量除氣腔室在說明書摘要公布了：本文提供用于基板處理腔室的方法和設備。在一些實施例中，基板處理腔室包括腔室主體，所述腔室主體具有側壁，所述側壁限定具有多邊形形狀的內部體積；設置在腔室主體的上部中的可選擇性密封的細長開口以用于將一個或多個基板轉移進入或離開腔室主體；設置在腔室主體的第一端處的漏斗，其中漏斗的尺寸沿著從腔室主體的外表面到內部體積的方向增大；以及設置在與漏斗相對的腔室主體的第二端處的泵端口。
本發明授權內嵌微波批量除氣腔室在權利要求書中公布了：1.一種基板處理腔室，包括：腔室主體，所述腔室主體具有側壁，所述側壁限定具有多邊形形狀的內部體積；能選擇性密封的細長開口，所述能選擇性密封的細長開口設置在所述腔室主體的上部中以用于將一個或多個基板轉移進入或離開所述腔室主體；漏斗，所述漏斗設置在所述腔室主體的第一端處的所述腔室主體的所述側壁中的一個側壁中，其中所述漏斗的開口的尺寸沿著從所述腔室主體的外表面到所述內部體積的方向增大，并且其中所述漏斗耦合至微波源；多個開口，所述多個開口設置在與所述漏斗相鄰的所述側壁中，以使氣體流入所述內部體積；以及泵端口，所述泵端口設置在與所述漏斗相對的所述腔室主體的第二端處。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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