恭喜東京毅力科創株式會社坂本貴浩獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利去除加工裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115279549B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180021045.5，技術領域涉及：B24B55/06；該發明授權去除加工裝置是由坂本貴浩;児玉宗久設計研發完成，并于2021-03-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本去除加工裝置在說明書摘要公布了：去除加工裝置具有臺、多個卡盤、噴嘴以及臺罩。所述臺水平地配置，并以鉛垂的旋轉中心線為中心旋轉。多個所述卡盤繞所述臺的旋轉中心線空開間隔地配置。所述噴嘴對由所述卡盤保持著的基板供給加工液。所述臺罩在所述臺的上方承接所述加工液。所述臺罩具有越遠離所述臺的旋轉中心線高度越低、且在所述臺的旋轉方向上高度一定的圓錐形狀的傾斜部。
本發明授權去除加工裝置在權利要求書中公布了：1.一種去除加工裝置，其中，該去除加工裝置包括：水平的臺，其以鉛垂的旋轉中心線為中心旋轉；多個卡盤，其繞所述臺的旋轉中心線空開間隔地配置；噴嘴，其對由所述卡盤保持著的基板供給加工液；臺罩，其在所述臺的上方承接所述加工液，其中，所述臺罩包括越遠離所述臺的旋轉中心線高度越低、且在所述臺的旋轉方向上高度一定的圓錐形狀的傾斜部；卡盤罩，該卡盤罩從所述臺罩的所述傾斜部向上方突出，在所述卡盤的周圍承接所述加工液，其中，所述卡盤罩包括從所述臺罩的傾斜部向上突出的筒部，在所述臺罩的所述傾斜部形成有供所述筒部貫穿的孔；基座罩，其在所述臺的上方且所述臺罩的下方承接所述加工液；以及支架，其在所述臺罩的所述傾斜部的下方載置所述卡盤罩的所述筒部，其中，所述支架突出設置在所述基座罩的上表面。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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