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龍圖騰網恭喜蘇州匯富弘自動化科技有限公司申請的專利一種旋轉式晶圓掛具的自動上下料裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115593925B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211045756.9，技術領域涉及：B65G47/90；該發明授權一種旋轉式晶圓掛具的自動上下料裝置是由余丞宏設計研發完成，并于2022-08-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種旋轉式晶圓掛具的自動上下料裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種旋轉式晶圓掛具的自動上下料裝置，包括機架，安裝在機架上的掛具周轉機構，掛具夾持翻轉機構，橫移模組，巡邊機構，清洗機構，多個晶圓供料機構及轉運機械手，同時橫移模組上安裝有外蓋開合機構和內圈搬移機構，掛具夾持翻轉機構位于中間位置，夾持掛具周轉機構內的導電掛具，將其翻轉移動至上下料工位，外蓋開合機構與內圈搬移機構位于上下料工位兩側，分別實現外蓋旋開及內圈搬移操作，轉運機械手位于上下料工位一側，巡邊機構，清洗機構，多個晶圓供料機構環設在轉運機械手四周，并位于轉運機械手的操作范圍內。

本發明授權一種旋轉式晶圓掛具的自動上下料裝置在權利要求書中公布了：1.一種旋轉式晶圓掛具的自動上下料裝置，其特征在于：包括機架，安裝在機架上的掛具周轉機構，掛具夾持翻轉機構，橫移模組，巡邊機構，清洗機構，多個晶圓供料機構及轉運機械手，同時橫移模組上安裝有外蓋開合機構和內圈搬移機構；所述掛具周轉機構包括底板，多個左右移動模組，前后移動模組及U型掛架，多個左右移動模組平行設置在底板上，包括滑軌，與滑軌相平行的傳送同步帶，所述傳送同步帶為雙面齒同步帶，通過一端的驅動電機控制其傳送，所述前后移動模組與左右移動模組相垂直布置，前后移動模組的滑塊上固定有連接滑軌，該連接滑軌上安裝有掛架滑塊，前后移動模組控制滑塊來回滑動，使得連接滑軌與對應左右移動模組的滑軌拼接，從而使得掛架滑塊由連接滑軌移動至滑軌上，所述U型掛架安裝在掛架滑塊上，其底面兩側設有與同步帶齒相配合的齒條；所述掛具夾持翻轉機構位于掛具周轉機構一側，夾緊導電掛具將其翻轉移動至上下料工位；所述晶圓供料機構用來裝載未加工的晶圓及已加工的晶圓；所述外蓋開合機構與內圈搬移機構位于上下料工位兩側，分別實現外蓋旋擰及內圈搬移操作；轉運機械手位于上下料工位一側，巡邊機構，清洗機構，多個晶圓供料機構環設在轉運機械手四周，并位于轉運機械手的操作范圍內；所述內圈搬移機構包括內圈夾爪模組及承載臺，所述內圈夾爪模組對內圈進行夾持搬移至承載臺，同步實現晶圓的取放；所述旋轉式晶圓掛具具有相互垂直設置的第一支撐板和第二支撐板，第一支撐板表面固定有配重塊，第二支撐板的單面或雙面固定有環形底座，環形底座上依次設有晶圓，密封內圈及外蓋，且外蓋與環形底座螺紋擰裝，將密封內圈壓緊在晶圓的無效帶處；轉運機械手移動至晶圓下方，通過晶圓取放叉托舉晶圓，并送入清洗機構，對處理好的晶圓進行清洗，清洗的過程中，轉運機械手將未加工的晶圓送至巡邊機構，進行定位槽和圓形的巡邊糾偏，然后再通過轉運機械手將巡邊后的晶圓托舉送至導電掛具上方，通過內圈夾爪模組夾住晶圓，并放置到導電掛具的環形底座上，實現晶圓的上料，然后再將承載臺上的密封內圈夾持放置到晶圓上方，然后外蓋開合機構將外蓋再次旋擰裝配實現密封操作。

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