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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備研究所(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所)申請(qǐng)的專(zhuān)利一種鍍液脫氣裝置及電化學(xué)沉積設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115433997B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202211174822.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C25D21/18；該發(fā)明授權(quán)一種鍍液脫氣裝置及電化學(xué)沉積設(shè)備是由李佳東;陳蘇偉;高岳;黃景志;黃鑫亮;陳聰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-26向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種鍍液脫氣裝置及電化學(xué)沉積設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種鍍液脫氣裝置及電化學(xué)沉積設(shè)備，包括腔體，腔體的內(nèi)部設(shè)置有脫氣腔，腔體設(shè)置進(jìn)液口、排液口和排氣口，進(jìn)液口與脫氣腔連通，排液口與排氣口相對(duì)設(shè)置且通過(guò)連通管連通，連通管上開(kāi)設(shè)有多個(gè)排出導(dǎo)向口，連通管通過(guò)排出導(dǎo)向口與脫氣腔連通；脫氣腔的橫截面為圓形，能夠使進(jìn)液口進(jìn)入的流體在脫氣腔內(nèi)加速旋轉(zhuǎn)并形成層流，排出導(dǎo)向口能夠?qū)恿鬟M(jìn)行導(dǎo)流，排出導(dǎo)向口包括引導(dǎo)口和排出口，引導(dǎo)口的口徑大于排出口的口徑，同時(shí)能夠加速流體與排出導(dǎo)向口的內(nèi)壁碰撞而排出。本申請(qǐng)通過(guò)進(jìn)液口能夠向脫氣腔內(nèi)注入鍍液，注液能夠在脫氣腔內(nèi)加速旋轉(zhuǎn)形成層流，而將鍍液中的氣泡析出，以提高鍍液的濃度。

本發(fā)明授權(quán)一種鍍液脫氣裝置及電化學(xué)沉積設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種鍍液脫氣裝置，其特征在于，包括腔體1，所述腔體1的內(nèi)部設(shè)置有脫氣腔101，所述腔體1設(shè)置進(jìn)液口102、排液口103和排氣口104，所述進(jìn)液口102與所述脫氣腔101連通，所述排液口103與所述排氣口104相對(duì)設(shè)置且通過(guò)連通管2連通，所述連通管2上開(kāi)設(shè)有多個(gè)排出導(dǎo)向口201，所述連通管2通過(guò)所述排出導(dǎo)向口201與所述脫氣腔101連通；所述脫氣腔101的橫截面為圓形，能夠使所述進(jìn)液口102進(jìn)入的流體在脫氣腔101內(nèi)加速旋轉(zhuǎn)并形成層流，所述排出導(dǎo)向口201能夠?qū)恿鬟M(jìn)行導(dǎo)流，所述排出導(dǎo)向口201包括引導(dǎo)口2011和排出口2012，所述引導(dǎo)口2011的口徑大于所述排出口2012的口徑，同時(shí)能夠加速流體與所述排出導(dǎo)向口201的內(nèi)壁碰撞而排出；所述排氣口104設(shè)置有排氣管3，所述排氣管3的入口端延伸至所述排液口103內(nèi)；所述腔體1為圓柱體結(jié)構(gòu)，且所述脫氣腔101為圓柱形；所述腔體1包括第一圓板105、第二圓板106和環(huán)體107，所述第一圓板105、所述第二圓板106分別密封設(shè)置于所述環(huán)體107的兩端開(kāi)口處；所述排氣口104設(shè)置于所述第一圓板105的中心位置，所述排液口103設(shè)置于所述第二圓板106的中心位置，所述進(jìn)液口102設(shè)置于所述環(huán)體107；所述第二圓板106與所述環(huán)體107為一體結(jié)構(gòu)，所述第一圓板105與所述環(huán)體107通過(guò)螺栓連接，且所述第一圓板105與所述環(huán)體107的連接處設(shè)置O型密封圈108；所述連通管2的為圓管，所述連通管2沿其長(zhǎng)度方向貫穿開(kāi)設(shè)三個(gè)排出導(dǎo)向口201，所述連通管2被三個(gè)排出導(dǎo)向口201分割成三個(gè)弧形擋板202；所述排出導(dǎo)向口201在開(kāi)設(shè)后分別在相鄰的兩個(gè)所述弧形擋板202上形成第一切面2013和第二切面2014，所述第一切面2013和所述第二切面2014之間的夾角范圍為25°-35°。

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