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龍圖騰網恭喜揚州思普爾科技有限公司申請的專利一種自動上料的半導體晶圓全自動高效去膠裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116364578B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211531213.8，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種自動上料的半導體晶圓全自動高效去膠裝置是由劉芳軍;張桂陽;楊志勇設計研發完成，并于2022-12-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種自動上料的半導體晶圓全自動高效去膠裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了一種自動上料的半導體晶圓全自動高效去膠裝置，包括底部基板、存儲單元、移送單元和多個去膠單元，所述底部基板包括多個安裝位，多個安裝位呈環形等間距分布，其中一個安裝位安裝所述存儲單元，其余的安裝位均安裝所述去膠單元；所述移送單元能夠將任何一個去膠單元內的晶圓移動至所述存儲單元內，或者將存儲單元內的晶圓移送至任何一個去膠單元內。本申請的去膠裝置集成了多個去膠單元，并且具有高效的移送效率，從而整體上提高去膠裝置的去膠效率。

本發明授權一種自動上料的半導體晶圓全自動高效去膠裝置在權利要求書中公布了：1.一種自動上料的半導體晶圓全自動高效去膠裝置，其特征在于，包括底部基板、存儲單元、移送單元和多個去膠單元，所述底部基板包括多個安裝位，多個安裝位呈環形等間距分布，其中一個安裝位安裝所述存儲單元，其余的安裝位均安裝所述去膠單元；所述移送單元能夠將任何一個去膠單元內的晶圓移動至所述存儲單元內，或者將存儲單元內的晶圓移送至任何一個去膠單元內；所述去膠單元為真空等離子去膠單元，所述去膠單元包括具有進出口的機箱以及安裝于機箱處且能夠封閉所述進出口的機箱電動門，所述機箱內安裝有用于承載晶圓的機箱承載臺；所述存儲單元包括存儲箱、位于存儲箱內的承載架以及用于驅動所述承載架在所述存儲箱內上下移動的驅動單元，所述承載架從上到下呈一列分布有多個用于承載晶圓的存儲承載臺；所述存儲箱具有第一開口和第二開口；所述第一開口處具有能夠將第一開口封閉的第一電動門，所述第二開口處具有能夠將第二開口封閉的第二電動門；所述存儲箱呈長方體形，包括面對移送單元的面板、遠離移送單元的背板、頂板、底板以及兩個側板，所述第一開口位于所述面板處，所述第二開口位于其中一個側板處；所述驅動單元包括安裝于頂板處的升降電機、安裝于底板處的絲桿軸承、安裝在頂板和底板之間的豎直導桿以及連接在升降電機和絲桿軸承之間的絲桿，所述承載架包括與所述絲桿配合的螺紋通道以及與所述豎直導桿配合的豎直限位通道；所述移送單元包括安裝于底部基板的轉動單元、安裝于轉動單元的第一升降單元、安裝于第一升降單元頂端的安裝座、安裝于安裝座處的伸縮單元以及安裝于伸縮單元處的取料單元；所述去膠裝置還包括待機單元，所述待機單元包括安裝于底部基板處的旋轉電機、安裝于旋轉電機處的驅動齒輪、安裝于底部基板處且能夠在所述底部基板處旋轉的第一環形板以及通過多個第二升降單元與第一環形板連接的第二環形板；所述底部基板處具有環形滑槽，所述第一環形板處具有與環形滑槽配合的環形滑軌；所述第二環形板處具有多個待機位，所述待機位的數量與所述去膠單元的數量相等；所述待機位具有固定于第二環形板處的第一承載座以及通過連接架與第二環形板固定連接的第二承載座，所述第二承載座的水平高度高于第一承載座的水平高度，所述連接架包括與第二承載座連接的第一水平桿、與第一水平桿連接的第一豎直桿、與第一豎直桿頂端連接的第二水平桿以及連接第二水平桿和第二環形板的第二豎桿；所述待機單元能夠處于初始待機狀態，當待機單元處于所述初始待機狀態時，多個待機位和多個去膠單元一一對應，每個待機位面對一個所述去膠單元，且對于每個待機位，連接架相對于第一承載座更靠近所述存儲單元。

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