恭喜等離子瑟姆NES有限公司薩爾班加拉·哈里哈拉克沙瓦·海格德獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜等離子瑟姆NES有限公司申請的專利用于在濺射系統內提高靶利用率的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119013761B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202380034407.3，技術領域涉及：H01J37/34；該發明授權用于在濺射系統內提高靶利用率的方法是由薩爾班加拉·哈里哈拉克沙瓦·海格德;文森特·C·李;衛-華·蕭;約瑟夫·巴拉科設計研發完成，并于2023-02-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于在濺射系統內提高靶利用率的方法在說明書摘要公布了：本公開提供了一種用于提高濺射系統內的靶利用率的方法。提供了多個靶，其中，每個靶操作地連接到中心軸。在濺射系統內生成離子束。在第一時間段內生成的離子束被引導到第一靶的第一位置處。通過旋轉中心軸移動每個靶。在第二時間段內生成的離子束被引導到第一靶的第二位置處。
本發明授權用于在濺射系統內提高靶利用率的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于在濺射系統內提高靶利用率的方法，包括以下步驟：提供多個靶，所述多個靶中的每個靶操作地連接到靶保持器，所述多個靶中的每個靶沿著所述濺射系統的大致圓形托板的外部定位，所述圓形托板具有中心軸；在所述濺射系統內生成第一離子束；將生成的所述第一離子束引導到第一靶的第一位置處；中斷所述第一離子束的生成；旋轉所述圓形托板的所述中心軸；在所述濺射系統內生成第二離子束；以及將生成的所述第二離子束引導到所述第一靶的第二位置處。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人等離子瑟姆NES有限公司，其通訊地址為：美國；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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