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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利晶圓冷卻裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118919457B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411411948.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)晶圓冷卻裝置是由沈康;涂樂義;梁潔;桂智謙;王兆祥設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-10-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓冷卻裝置在說明書摘要公布了：本公開涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，提供晶圓冷卻裝置，包括：殼體，形成容納腔；多個冷卻單元，沿容納腔的高度方向多層布置；多個升降件，能到達(dá)與對應(yīng)的一冷卻單元頂面齊平相拼接以形成完整承接晶圓背面的承載平面或托起晶圓以脫離冷卻單元；每個升降件包括：供與冷卻單元側(cè)緣相接的連接部，以及形成于連接部的至少一升降部；多個升降件的升降部之間在高度方向上至少部分相互錯位，以形成能被傳動機(jī)構(gòu)帶動地連接的受力部；第一驅(qū)動裝置通過傳動機(jī)構(gòu)連接驅(qū)動升降件；傳動機(jī)構(gòu)活動設(shè)置，以能切換傳動連接的升降件的受力部。通過控制升降件到達(dá)對應(yīng)的冷卻單元形成齊平的承載平面，以完整承接晶圓，解決晶圓冷卻不均勻的問題。

本發(fā)明授權(quán)晶圓冷卻裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓冷卻裝置，其特征在于，包括：殼體，形成容納腔；多個冷卻單元，設(shè)于所述容納腔中，沿容納腔的高度方向多層布置；升降組件，包括：多個升降件，可升降地設(shè)置，能到達(dá)與對應(yīng)的一所述冷卻單元的側(cè)緣之間頂面齊平相拼接以形成完整承接晶圓背面的承載平面的第一位置，或托起晶圓以脫離所述冷卻單元的第二位置；所述升降件與多個冷卻單元之間一一對應(yīng)；每個所述升降件包括：供與所述冷卻單元側(cè)緣相接的連接部，以及形成于所述連接部的至少一升降部；多個所述升降件的升降部之間在高度方向上至少部分相互錯位，以形成能被一傳動機(jī)構(gòu)帶動地連接的受力部；第一驅(qū)動裝置，通過所述傳動機(jī)構(gòu)連接并驅(qū)動所述多個升降件；所述傳動機(jī)構(gòu)活動設(shè)置，以能切換傳動連接的升降件的受力部；多個所述升降部之間沿高度方向?qū)R排列，且具有不同的延伸長度以在所述延伸長度方向上形成相互錯位的受力部；所述傳動機(jī)構(gòu)包括：至少一升降驅(qū)動件，可升降至地設(shè)置，供與至少一升降部的受力部相接；連接件，與所述升降驅(qū)動件及第一驅(qū)動裝置連接，以能被驅(qū)動帶動所述升降驅(qū)動件的升降；所述連接件沿所述升降部的延伸方向可伸縮地設(shè)置，以調(diào)節(jié)所述升降驅(qū)動件位置對應(yīng)于至少一升降部的受力部；或者，多個所述升降部之間在所述高度方向上相互錯位地繞容納腔周向布置，所述傳動機(jī)構(gòu)包括：連接件，與所述升降驅(qū)動件及第一驅(qū)動裝置連接，以能被驅(qū)動帶動所述升降驅(qū)動件的升降；所述連接件可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置，以調(diào)節(jié)所述升降驅(qū)動件位置對應(yīng)于至少一升降部的受力部；所述升降件與冷卻單元之間通過滾動結(jié)構(gòu)相接；所述滾動結(jié)構(gòu)嵌入到冷卻單元的側(cè)緣面內(nèi)或者嵌入到升降件上對應(yīng)冷卻單元側(cè)緣面的相對面中；所述滾動結(jié)構(gòu)包括多個滾珠，所述升降件和冷卻單元之間通過多個滾珠的密集排布所形成的面相接；所述升降件和冷卻單元之間為相同材質(zhì)；第二驅(qū)動裝置，連接并驅(qū)動所述傳動機(jī)構(gòu)活動；控制裝置，連接并控制所述第一驅(qū)動裝置及第二驅(qū)動裝置，用于響應(yīng)于驅(qū)動指令，控制傳動機(jī)構(gòu)活動至與所述驅(qū)動指令所指定的目標(biāo)升降件的受力部連接，以令所述目標(biāo)升降件在所述第一位置和第二位置之間升降運(yùn)動，以完成晶圓冷卻作業(yè)；其中，所述控制裝置預(yù)設(shè)有控制模式，以用于自動控制升降件運(yùn)動到位；控制裝置控制第一驅(qū)動裝置按預(yù)設(shè)上升行程量驅(qū)動升降件從第一位置升起至第二位置，以接納晶圓；在確定晶圓擺放完成后，控制第一驅(qū)動裝置按照與上升行程量相同的下降行程量進(jìn)行下降，直至下降到第二位置到位時停止；下降到位的判斷方式為根據(jù)精確的同上升行程量相同的下降行程量來控制，或者根據(jù)被擋止時的第一驅(qū)動裝置的電機(jī)扭矩或者升降件上與控制裝置通信連接的壓力傳感器探測的壓力達(dá)到閾值來控制；以及，控制裝置控制第二驅(qū)動裝置驅(qū)動傳動機(jī)構(gòu)的連接件進(jìn)行伸縮或者旋轉(zhuǎn)以到達(dá)與待連接的目標(biāo)升降件的受力部對應(yīng)的位置，進(jìn)而控制所述第一驅(qū)動裝置驅(qū)動傳動機(jī)構(gòu)上升，以連接至目標(biāo)升降件的受力部；控制裝置根據(jù)連接件的伸縮行程或旋轉(zhuǎn)行程預(yù)設(shè)有多檔，以分別伸縮或旋轉(zhuǎn)至在高度方向上對應(yīng)不同的受力部的伸縮位置。

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