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龍圖騰網(wǎng)恭喜華海清科股份有限公司申請(qǐng)的專利晶圓支撐座、旋轉(zhuǎn)支撐裝置、清洗裝置、晶圓旋轉(zhuǎn)測(cè)速方法及晶圓清洗方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119447019B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510012184.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)晶圓支撐座、旋轉(zhuǎn)支撐裝置、清洗裝置、晶圓旋轉(zhuǎn)測(cè)速方法及晶圓清洗方法是由劉晟榿;路新春;王科;李長(zhǎng)坤設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-06向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓支撐座、旋轉(zhuǎn)支撐裝置、清洗裝置、晶圓旋轉(zhuǎn)測(cè)速方法及晶圓清洗方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種晶圓支撐座、旋轉(zhuǎn)支撐裝置、清洗裝置、晶圓旋轉(zhuǎn)測(cè)速方法及晶圓清洗方法。晶圓支撐座包括：支撐組件；支撐軸，所述支撐組件可擺動(dòng)地連接于所述支撐軸；驅(qū)動(dòng)輪，裝設(shè)于所述支撐組件；測(cè)速輪，裝設(shè)于所述支撐組件，并且，所述驅(qū)動(dòng)輪與所述測(cè)速輪的轉(zhuǎn)軸平行設(shè)置，所述驅(qū)動(dòng)輪和所述測(cè)速輪的周向外緣均開(kāi)設(shè)有用于支撐晶圓的環(huán)形槽；配重件，連接于所述支撐組件，用于對(duì)所述支撐組件施加可擺動(dòng)的力。本申請(qǐng)中，在晶圓自身重力作用下，擺動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輪和測(cè)速輪會(huì)自動(dòng)找正晶圓的支撐位置，晶圓在驅(qū)動(dòng)輪和測(cè)速輪中的插入深度可保持穩(wěn)定，驅(qū)動(dòng)輪和測(cè)速輪可對(duì)晶圓進(jìn)行穩(wěn)定支撐以及減少晶圓的掉速機(jī)率。

本發(fā)明授權(quán)晶圓支撐座、旋轉(zhuǎn)支撐裝置、清洗裝置、晶圓旋轉(zhuǎn)測(cè)速方法及晶圓清洗方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種晶圓支撐座，其特征在于，所述晶圓支撐座用于支撐豎直放置的晶圓，其包括：支撐組件；支撐軸，所述支撐組件可擺動(dòng)地連接于所述支撐軸；裝設(shè)于所述支撐組件的驅(qū)動(dòng)輪和測(cè)速輪，所述驅(qū)動(dòng)輪用于驅(qū)動(dòng)晶圓旋轉(zhuǎn)，所述測(cè)速輪用于檢測(cè)晶圓的轉(zhuǎn)速，所述驅(qū)動(dòng)輪與所述測(cè)速輪的轉(zhuǎn)軸平行設(shè)置，所述驅(qū)動(dòng)輪和所述測(cè)速輪的周向外緣均開(kāi)設(shè)有用于支撐晶圓的環(huán)形槽；配重件，連接于所述支撐組件的背對(duì)晶圓的一側(cè)，用于對(duì)所述支撐組件施加可擺動(dòng)的力，所述配重件的重量與所述晶圓的重量相匹配；在所述晶圓放入所述晶圓支撐座前，所述配重件使所述晶圓支撐座向外擺動(dòng)，在所述晶圓放入所述晶圓支撐座后，晶圓的重力使所述晶圓支撐座向內(nèi)擺動(dòng)，以使所述驅(qū)動(dòng)輪和所述測(cè)速輪自動(dòng)找正晶圓的支撐位置。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區(qū)咸水沽鎮(zhèn)聚興道11號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。