恭喜浙江鼎晶科技有限公司李修超獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜浙江鼎晶科技有限公司申請的專利一種點膠裝置及點膠高度校準方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119456330B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510077609.7,技術領域涉及:B05C5/02;該發明授權一種點膠裝置及點膠高度校準方法是由李修超;錢震東;喻瀧;余雄設計研發完成,并于2025-01-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種點膠裝置及點膠高度校準方法在說明書摘要公布了:本發明涉及晶圓點膠技術領域,其具體提供了一種點膠裝置,用于晶圓點膠,包括移動單元、設于移動單元的輸出端的點膠單元,以及位于點膠單元下方用于搭載晶圓的平臺單元;移動單元包括第二移動部和第三移動部;點膠單元包括針頭以及非接觸式測距儀,平臺單元上設置有接觸式感應件;第二移動部帶動非接觸式測距儀以及第三移動部,向接觸式感應件所在方向移動至零位后,第三移動部帶動針頭向接觸式感應件移動,與接觸式感應件接觸且直至將其觸發,與此同時,非接觸式測距儀對接觸式感應件與針頭的接觸點受壓產生的形變量進行測量;此外還公開了一種點膠高度校準方法,解決了因傳感器發生形變量,點膠高度測量不精準的問題。
本發明授權一種點膠裝置及點膠高度校準方法在權利要求書中公布了:1.一種點膠裝置的點膠高度校準方法,用于晶圓點膠,其特征在于:包括移動單元(11)、設于所述移動單元(11)的輸出端的點膠單元(12),以及位于所述點膠單元(12)下方用于搭載晶圓的平臺單元(3);所述移動單元(11)包括第二移動部(112)和第三移動部(113);所述點膠單元(12)包括針頭(122)以及非接觸式測距儀(123),所述平臺單元(3)上設置有接觸式感應件(3221);所述第二移動部(112)帶動所述非接觸式測距儀(123)以及所述第三移動部(113),向所述接觸式感應件(3221)所在方向移動至零位后,所述第三移動部(113)帶動所述針頭(122)向所述接觸式感應件(3221)移動,與所述接觸式感應件(3221)接觸且直至將其觸發,與此同時,所述非接觸式測距儀(123)對所述接觸式感應件(3221)與所述針頭(122)的接觸點受壓產生的形變量進行測量;還包括以下步驟:a.所述第二移動部(112)沿豎向帶動所述點膠單元(12)下降,將所述非接觸式測距儀(123)移動至第一安全位;b.所述第二移動部(112)沿豎向帶動所述非接觸式測距儀(123)繼續移動至零位;c.所述第三移動部(113)帶動所述針頭(122)與閥體(121)沿豎向移動,與所述接觸式感應件(3221)的感應平面接觸且直至將其觸發,所述第三移動部(113)即刻暫停,系統記錄所述第三移動部(113)的移動位移為L1;d.所述非接觸式測距儀(123)對所述接觸式感應件(3221)與所述針頭(122)的接觸點受壓產生的形變量進行測量,系統記錄變形量為L2;e.所述第三移動部(113)帶動所述針頭(122)豎向上升并移動至第二安全位;系統由L1與L2的差值獲得在所述非接觸式測距儀(123)位于零位時,其與所述接觸式感應件(3221)的感應平面的相對高度,以此確定所述針頭(122)與所述接觸式感應件(3221)的感應平面的相對高度。
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