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龍圖騰網恭喜北京銳潔機器人科技有限公司申請的專利一種用于掩膜版在不同設備上運輸的標準SMIF設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119626963B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510161235.7，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種用于掩膜版在不同設備上運輸的標準SMIF設備是由王鐵柱;劉冬梅;王勇;王強設計研發完成，并于2025-02-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于掩膜版在不同設備上運輸的標準SMIF設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種用于掩膜版在不同設備上運輸的標準SMIF設備，涉及掩膜版運輸技術領域，包括架體，架體上固定安裝有升降機構，升降機構上安裝有支撐框，架體上且位于支撐框的內部設置有開盒機構，開盒機構的頂部設置有安裝在架體上的掩膜版托盤，支撐框的頂部固定安裝有支撐架，支撐架的安裝有設置有掩膜版盒體，支撐架的底部設置有信息識別機構。本發明提供一種用于掩膜版在不同設備上運輸的標準SMIF設備，通過在支撐架的底部設置信息識別機構后，能夠實現在對掩膜版運輸的過程中，依靠多個映射傳感器來對掩膜版的位置、數量等信息的識別，提升了掩膜版傳輸的精準性，避免掩膜版的運輸出現誤差對半導體的生產制造產生影響。

本發明授權一種用于掩膜版在不同設備上運輸的標準SMIF設備在權利要求書中公布了：1.一種用于掩膜版在不同設備上運輸的標準SMIF設備，包括架體（1），所述架體（1）上固定安裝有升降機構（2），所述升降機構（2）上安裝有支撐框（3），所述架體（1）上且位于所述支撐框（3）的內部設置有開盒機構（4），所述開盒機構（4）的頂部設置有安裝在所述架體（1）上的掩膜版托盤（5），所述支撐框（3）的頂部固定安裝有支撐架（6），所述支撐架（6）的安裝有設置有掩膜版盒體（7），其特征在于，所述支撐架（6）的底部設置有信息識別機構（8），所述信息識別機構（8）包括多個對稱固定安裝在所述支撐架（6）底部上的固定座（9），所述固定座（9）上安裝有安裝塊（10），所述安裝塊（10）的底部固定安裝有映射傳感器（11），其中：所述固定座（9）的內部對稱開設有兩個第一凹槽（12），所述第一凹槽（12）的內部固定安裝有第一彈簧（13），所述第一彈簧（13）的一端固定安裝有卡桿（14），所述安裝塊（10）的頂部固定安裝有卡塊（15）；所述卡桿（14）的直徑與所述卡塊（15）上卡槽的內徑相吻合，且所述卡桿（14）的一端設置為弧形；所述支撐架（6）的頂部設置有固定機構（16），所述固定機構（16）包括兩個對稱固定安裝在所述支撐架（6）上的框架（17），所述框架（17）的內部對稱固定安裝有兩個第一電動伸縮桿（18），所述第一電動伸縮桿（18）的輸出端固定安裝有推塊（19），所述支撐架（6）的內壁上設置有通過多個第二彈簧（20）安裝連接的支撐塊（21），所述支撐塊（21）的一側與所述推塊（19）相貼合，所述支撐塊（21）的另一側固定安裝有貫穿所述框架（17）的限位塊（22），所述掩膜版盒體（7）的兩側均開設有限位槽（23）。

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