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龍圖騰網恭喜法博思(寧波)半導體設備有限公司申請的專利基于多信號相位提取的兩平面絕對面形檢測方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119714121B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510213599.5，技術領域涉及：G01B11/24；該發明授權基于多信號相位提取的兩平面絕對面形檢測方法及裝置是由李志松;侯懿;宋金龍設計研發完成，并于2025-02-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于多信號相位提取的兩平面絕對面形檢測方法及裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了一種基于多信號相位提取的兩平面絕對面形檢測方法及裝置，涉及光學干涉測量技術領域，利用初始位置的波前相位分布數據和多個旋轉后的波前相位分布數據的平均值，得到旋轉非對稱誤差；然后將參考鏡沿著X軸平移，并測量平移后的波前相位分布數據，根據平移后的波前相位分布數據得出旋轉對稱誤差，將旋轉對稱誤差和與旋轉非對稱誤差進行結合即可到所求解的面形誤差。本申請提供的一種基于多信號相位提取的兩平面絕對面形檢測方法及裝置消除了待測鏡翻轉所帶來的誤差，提高了測量精度，簡化了測量步驟，且提高了面形檢測的穩定性。

本發明授權基于多信號相位提取的兩平面絕對面形檢測方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種基于多信號相位提取的兩平面絕對面形檢測方法，其特征在于，包括：步驟1：獲取疊加干涉條紋圖，利用傅里葉變換分離所述疊加干涉條紋圖中的多信號頻率信息，并獲取初始位置的波前相位分布數據；步驟2：分別獲取參考鏡等角度旋轉多次后的波前相位分布數據，得到多個旋轉后的波前相位分布數據；步驟3：將初始位置的波前相位分布數據和多個旋轉后的波前相位分布數據進行分組，得到兩組平均波面；具體為：將初始位置的波前相位分布數據和多個旋轉后的波前相位分布數據根據角度大小進行排序，將排序后的波前相位分布數據分為奇數項波面和偶數項波面，并分別計算奇數項平均波面和偶數項平均波面；步驟4：將兩組平均波面分別順時針和逆時針旋轉180°后進行疊加，并計算平均波面；步驟5：將平均波面與初始位置的波前相位分布數據做差分方程，得到面形誤差的旋轉非對稱誤差；步驟6：獲取參考鏡旋轉至初始位置，并沿X軸平移后的波前相位分布數據，得到平移后的波前相位分布數據；步驟7：將平移后的波前相位分布數據與初始位置的波前相位分布數據做差分，得到差分面形誤差；步驟8：將差分面形誤差進行Zernike擬合，得到面形誤差的旋轉對稱誤差和項；步驟9：將面形誤差的旋轉非對稱誤差、面形誤差的旋轉對稱誤差和項進行波面求和，得到被測鏡和參考鏡的完整面形。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人法博思(寧波)半導體設備有限公司，其通訊地址為：315413 浙江省寧波市余姚市三七市鎮云山中路28號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。