香港科技大學(廣州)曾祥軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉香港科技大學(廣州)申請的專利一種試劑放置組件、濕法機臺與自動換液系統獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222883508U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202520652861.1,技術領域涉及:H01L21/67;該實用新型一種試劑放置組件、濕法機臺與自動換液系統是由曾祥軍;吳朝陽;李季;李藝杰;徐巍設計研發完成,并于2025-04-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種試劑放置組件、濕法機臺與自動換液系統在說明書摘要公布了:本申請涉及半導體生產技術領域,具體公開了一種試劑放置組件、濕法機臺與自動換液系統。其中,試劑放置組件包括:支撐件和接液件;所述支撐件上設置有放置區,所述放置區用于供試劑瓶放置;所述接液件設置于所述放置區旁側,用于承接取液管的滴落物。所述試劑放置組件的接液件能夠承接取液管的滴落物。本方案中,通過接液件能夠承接滴落物,從而在更換試劑瓶的過程中,將試劑瓶的瓶蓋取下后,可以將瓶蓋移動到接液件的上方,使得瓶蓋上取液管的滴落物得到承接,有效地防止了試劑對機臺和工作環境的污染,并降低工作人員的清理負擔。
本實用新型一種試劑放置組件、濕法機臺與自動換液系統在權利要求書中公布了:1.一種試劑放置組件,其特征在于,包括:支撐件(10),所述支撐件(10)上設置有放置區(11),所述放置區(11)用于供試劑瓶(110)放置;接液件(20),所述接液件(20)設置于所述放置區(11)旁側,用于承接取液管(120)的滴落物;所述接液件(20)包括匯流板(21);所述匯流板(21)上設置有匯流道(211);所述匯流道(211)用于承接取液管(120)的滴落物;所述匯流道(211)設置有進出口(212);所述進出口(212)的頂部為開口結構。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人香港科技大學(廣州),其通訊地址為:511453 廣東省廣州市南沙區篤學路1號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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