恭喜香港科技大學(xué)(廣州)曾祥軍獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜香港科技大學(xué)(廣州)申請的專利一種試劑放置組件、濕法機(jī)臺與自動換液系統(tǒng)獲國家實(shí)用新型專利權(quán),本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN222883508U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉:該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202520652861.1,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/67;該實(shí)用新型一種試劑放置組件、濕法機(jī)臺與自動換液系統(tǒng)是由曾祥軍;吳朝陽;李季;李藝杰;徐巍設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-04-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種試劑放置組件、濕法機(jī)臺與自動換液系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本申請涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體公開了一種試劑放置組件、濕法機(jī)臺與自動換液系統(tǒng)。其中,試劑放置組件包括:支撐件和接液件;所述支撐件上設(shè)置有放置區(qū),所述放置區(qū)用于供試劑瓶放置;所述接液件設(shè)置于所述放置區(qū)旁側(cè),用于承接取液管的滴落物。所述試劑放置組件的接液件能夠承接取液管的滴落物。本方案中,通過接液件能夠承接滴落物,從而在更換試劑瓶的過程中,將試劑瓶的瓶蓋取下后,可以將瓶蓋移動到接液件的上方,使得瓶蓋上取液管的滴落物得到承接,有效地防止了試劑對機(jī)臺和工作環(huán)境的污染,并降低工作人員的清理負(fù)擔(dān)。
本實(shí)用新型一種試劑放置組件、濕法機(jī)臺與自動換液系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種試劑放置組件,其特征在于,包括:支撐件(10),所述支撐件(10)上設(shè)置有放置區(qū)(11),所述放置區(qū)(11)用于供試劑瓶(110)放置;接液件(20),所述接液件(20)設(shè)置于所述放置區(qū)(11)旁側(cè),用于承接取液管(120)的滴落物;所述接液件(20)包括匯流板(21);所述匯流板(21)上設(shè)置有匯流道(211);所述匯流道(211)用于承接取液管(120)的滴落物;所述匯流道(211)設(shè)置有進(jìn)出口(212);所述進(jìn)出口(212)的頂部為開口結(jié)構(gòu)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人香港科技大學(xué)(廣州),其通訊地址為:511453 廣東省廣州市南沙區(qū)篤學(xué)路1號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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